納諾受託代購商 G300 使用支持與直徑的範例 300 mm 的一個階段。 行業用戶的非常好的長期投資,它為獲取機械數據提供一個快速,可靠方法在未割減的硅片。 G300 允許測試多個層,實現可能有對產量、性能和長壽的重大的作用到設備的產品開發和故障分析。
電磁式驅動允許空前的力學範圍生效和位移。 它啟用變形的評定六個數量級從毫微米到毫米。
功能
- 發生兼容與 ISO 14577
- 抽樣標本的階段與 Dia. 300 mm
- 全面測試自動化讓儀器運行未看管
- 靈活性,可重複或新建應用程序的提高能力
- 動態屬性描述特性通過由凹進深度的 CSM
- 實時控制,平緩協議發展,漂移補償
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