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PI에서 선형 모터 N 664를 가진 극초단파 정확도 Nano 두기 선형 단계

이 참고 종류 선형 positioner는 이하 나노미터 해결책을 가진 각자 죄는 비 자석 모터 구성하고 있습니다. 높 정확도는 교차된 롤러 베어링 및 직접 측정 높 정밀도 의 이하 나노미터 해결책 선형 인코더에 의해 제안됩니다.

돌출하는 특징

N-664의 주요 특징은:

  • 30 mm의 여행 범위.
  • 0.5 nm의 인코더 해결책.
  • 모터를 잠가 각자.
  • 우량한 인도 정확도.
  • 10 mm/s.의 각측정속도.
  • 유효한 진공 버전.

Last Update: 19. April 2012 04:45

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