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M-811 콤팩트 진공 호환성 평행하 운동학 6 축선 6각류 Stewart 플래트홈

진공을 위한 PI에서 가장 작은 떨어져 선반 6각류 positioner는 짐을 취급할 수 있습니다 11까지 lbs. 각 개별적인 액추에이터에는 6대의 개별적인 단 하나 축선 positioners의 전통적인 더미의 단 하나 축선과 동등한 40 nm의 두는 해결책이 있습니다.

돌출하는 특징

6 축선 6각류 Stewart 플래트홈의 돌출하는 특징은:

  • 6각류 소형 높 정밀도.
  • 관제사 & 소프트웨어를 가진 6 축선 직책 시스템.
  • 11 lbs 적재 능력 (5개 kg).
  • 40 nm 액추에이터 해결책.
  • ±200 nm 반복성.
  • 10 mm/second에 각측정속도.
  • 136 mm 의 고도의 직경: 114 mm.

연속되는 운동학 시스템 대 6각류

6각류는 단 하나 이동하는 플래트홈을 소유합니다: 이 디자인은 높은 뻣뻣함 및 큰 명확한 가늠구멍을 제공합니다. 작은 운동 때문에, 대량 작동은 전통 적이고, 겹쳐 쌓인 다중 축선 시스템으로 매우 더 단단 실행될 수 있습니다.

Last Update: 19. April 2012 04:45

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