此精确度班的 X - Y 的确定的阶段以高速，夹紧提供 3 到 10 倍早先动力化的确定的阶段的稳定性的直线电动机的自为特色。 快速直接传动适用于高处理量和高速确定的任务在生物工艺学应用。 大清楚的开口启用透过光显微学和分光学应用。 跨路辗轴承为更高的连续准确性和寿命提供。 这个阶段装备没有接触的限额和参考点切换。 如果需要毫微米精确度，一个压力弯曲阶段在上面可以被挂接。
明显功能
精确度 X - Y 的线性确定的阶段的明显功能是：
- 低调与大开口的精确度 X - Y 的确定的表和压力马达驱动。
- mm 动力化的 25x25 确定范围。
- 与锁定陶瓷直线电动机的自的超离频的稳定性。
- 高速， 100 个 mm/s。
- 高精度线性编码器： 100 nm 解决方法。
- 大开口和低调。
- 与 PI 压力扫描阶段兼容。