此精確度班的 X - Y 的確定的階段以高速，夾緊提供 3 到 10 倍早先動力化的確定的階段的穩定性的直線電動機的自為特色。 快速直接傳動適用於高處理量和高速確定的任務在生物工藝學應用。 大清楚的開口啟用透過光顯微學和分光學應用。 跨路輾軸承為更高的連續準確性和壽命提供。 這個階段裝備沒有接觸的限額和參考點切換。 如果需要毫微米精確度，一個壓力彎曲階段在上面可以被掛接。
明顯功能
精確度 X - Y 的線性確定的階段的明顯功能是：
- 低調與大開口的精確度 X - Y 的確定的表和壓力馬達驅動。
- mm 動力化的 25x25 確定範圍。
- 與鎖定陶瓷直線電動機的自的超離頻的穩定性。
- 高速， 100 个 mm/s。
- 高精度線性編碼器： 100 nm 解決方法。
- 大開口和低調。
- 與 PI 壓力掃描階段兼容。