Das NPS-Z-15B ist eine piezo gescannte Biegung geführte nanopositioning Stufe mit integrierten KapazitanzStellungsgebern. Es ist zu Unternm Auflösung und Reproduzierbarkeit fähig. Diese Stufe ist konstruiert worden, um - niedrige Winkelabweichung extrem zu haben, während sie scannt.
Es ist für Gebrauch in der Scannenfühlermikroskopie und -interferometrie ideal, in der Reinheit des Antrages wichtig ist.
Merkmale
Merkmale der NPS-Z-15B nanopositioning Stufe umfassen:
- > Arbeitsweg mit 15 Mikrometern mit Unternm Auflösung
- < 0,005% Hysterese- und Linearitätsfehler
- Erste Eigenfrequenz > 1,8 KHz
- Hohe Bandweiten (> 300 Hz) und schnelle Antwortzeiten
- In-situscannen- und Sprungantwortoptimierung
- Robust und zuverlässig
- SuperInvarbau
Anwendungen
Die NPS-Z-15B nanopositioning Stufe wird zu den Anwendungen wie entsprochen:
- Scannende Fühler-Mikroskopie
- NSOM
- AtomKraft-Mikroskopie
- Feinmechanik
- Interferometrie
- Metrologie