O NPS-Z-15B é uma fase nanopositioning guiada flexure feita a varredura piezo com os sensores de posição integrados da capacidade. É capaz de uma definição e de uma reprodutibilidade de secundário-nanômetro. Esta fase estêve projectada ter extremamente - o baixo desvio angular enquanto faz a varredura.
É ideal para o uso na microscopia e na interferometria da ponta de prova da exploração, onde a pureza do movimento é importante.
Características
As Características da fase nanopositioning de NPS-Z-15B incluem:
- > curso de 15 micrômetros com definição de secundário-nanômetro
- < 0,005% erros da histerese e das linearidades
- Primeira freqüência ressonante > 1,8 Quilohertz
- Larguras de faixa Altas (> 300 Hertz) e tempo de resposta rápido
- Optimização In Situ da resposta da exploração e de piso
- Robusto e seguro
- Construção Super do Invar
Aplicações
A fase nanopositioning de NPS-Z-15B é serida às aplicações como:
- Microscopia de Varredura da Ponta De Prova
- NSOM
- Microscopia Atômica da Força
- Engenharia de Precisão
- Interferometria
- Metrologia