NPS-Z-15B 是與集成電容位置檢測器的一個壓力瀏覽的彎曲引導的 nanopositioning 的階段。 它有能力在子毫微米解決方法和增殖率上。 當它瀏覽，此階段被設計有極低的有角偏差。
是理想的用於掃描探測顯微學和干涉測量法，行動純度是重要的。
功能
NPS-Z-15B nanopositioning 的階段的功能包括：
- > 與子毫微米解決方法的 15 個測微表旅行
- < 0.005% 遲滯現象和線性錯誤
- 第一諧振頻率 > 1.8 KHz
- 高帶寬 (> 300 Hz) 和快速響應時間
- 原地掃描和階躍響應優化
- 穩健和可靠
- 超級英瓦合金建築
應用
NPS-Z-15B nanopositioning 的階段配合與應用例如：
- 瀏覽的探測顯微學
- NSOM
- 基本強制顯微學
- 精確工程
- 干涉測量法
- 計量學