Stade Guidé par Flexure Balayé Piézo-électrique avec les Capteurs de Position de Capacité - NPS-XY-100A des Instruments de Queensgate

Le NPS-XY-100A est un stade nanopositioning guidé par flexure balayé piézo-électrique avec les capteurs de position intégrés de capacité. Il est fait d'Invar Superbe et est capable de la définition et de la reproductibilité de sous-nanomètre.

Il est capable de la définition et de la reproductibilité de sous-nanomètre. L'analyse par éléments finis des mécanismes d'orientation de flexure a des mouvements angulaires parasites réduits moins de 25 micro-radians sur le plein domaine de 100 microns.

La construction Superbe d'Invar (12h3 de CTE-1, c.f. Al à 35h)-1 du système nanopositioning de NPS-XY-100A réduit à un minimum le chassoir thermique, qui sur une échelle de nanomètre est très important. Le seul système isostatique de montage s'assure que des stress du système de montage sont correctement détendus et détermine le centre du stade pendant que la remarque de référence de combinaison.

Caractéristiques techniques

Les fonctionnalités du système nanopositioning de NPS-XY-100A :

  • > course de 100 micromètres à chaque axe avec la définition de sous-nanomètre
  • < 0,005% erreurs d'hystérésis et de linéarité
  • Première fréquence de résonance > 350 Hertz
  • Largeurs de bande Élevées (> 50 Hertz) et temps de réponse rapides
  • Optimisation In-situ de réaction de lecture et de progression
  • Utilisation avec NPS-Z-15A ou NPS-Z-15H pour des options de XYZ
  • Construction Superbe d'Invar

Applications

Le système nanopositioning de NPS-XY-100A est utilisation adaptée dans :

  • Microscopie de Haute Précision
  • AFM, SPM, NSOM

Last Update: 18. April 2012 23:39

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment