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Fase Guida Flessione Scandita Piezo-elettrica con i Sensori di Posizione di Capacità - NPS-XY-100A dagli Strumenti di Queensgate

Il NPS-XY-100A è una fase nanopositioning guida flessione scandita piezo-elettrica con i sensori di posizione integrati di capacità. È fatto di Invar Eccellente ed è capace di risoluzione e della riproducibilità di sotto-nanometro.

È capace di risoluzione e della riproducibilità di sotto-nanometro. L'Analisi agli'elementi finiti dei meccanismi di orientamento di flessione ha ridotto i moti angolari parassitari a meno di 25 micro-radianti sopra l'intervallo completo da 100 micron.

La costruzione Eccellente del Invar (CTE 0.3ppm K-1, c.f. Al a 23ppm K)-1 del sistema nanopositioning di NPS-XY-100A minimizza la deriva termica, che su un disgaggio di nanometro è molto importante. Il sistema isostatico unico del montaggio assicura che gli sforzi dal sistema del montaggio siano alleviati correttamente ed istituisce il centro della fase come il punto di riferimento di coordinazione.

Funzionalità

Le caratteristiche del sistema nanopositioning di NPS-XY-100A:

  • > un viaggio di 100 micrometri in ogni asse con risoluzione di sotto-nanometro
  • < 0,005% errori di linearità e di isteresi
  • Prima frequenza di risonanza > 350 Hertz
  • Alte larghezze di banda (> 50 Hertz) e tempi di reazione veloci
  • Ottimizzazione In Situ e di scansione di risposta fare un passo
  • Uso con NPS-Z-15A o NPS-Z-15H per le opzioni di XYZ
  • Costruzione Eccellente del Invar

Applicazioni

Il sistema nanopositioning di NPS-XY-100A è uso adatto in:

  • Microscopia di Alta Precisione
  • AFM, SPM, NSOM

Last Update: 18. April 2012 23:39

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