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용량 위치 센서 - Queensgate 계기에서 NPS-XY-100A를 가진 Piezo 검사된 굴곡에 의하여 인도되는 단계

NPS-XY-100A는 통합 용량 위치 센서를 가진 piezo 검사한 굴곡에 의하여 인도된 nanopositioning 단계입니다. 그것은 최고 불변강으로 만들고 이하 나노미터 해결책과 재현성 도 할 수 있습니다.

그것은 이하 나노미터 해결책과 재현성 도 할 수 있습니다. 굴곡 지도 기계장치의 유한 성분 분석은 가득 차있는 100개 미크론 범위에 25 미만 마이크로 부채각으로 기생하는 각운동을 감소시켰습니다.

최고 불변강 건축 (CTE 0.3ppm K-1, c.f. NPS-XY-100A nanopositioning 시스템-1 23ppm K)에 알루미늄은 나노미터 가늠자에 아주 중요한 열 편류를 극소화합니다. 유일한 지각 균형설 설치 시스템은 설치 시스템에서 긴장이 제대로 구호된다는 것을 확인하고 단계의 센터를 때 협조 기준점 설치합니다.

특징

NPS-XY-100A nanopositioning 시스템 특징:

  • > 이하 나노미터 해결책을 가진 각 축선에 있는 100개 마이크로미터 여행
  • < 0.005% 히스테리시스와 선형성 과실
  • 첫번째 공명 주파수 > 350 Hz
  • 높은 대역폭 (> 50 Hz) 및 단단 응답 시간
  • 제자리 스캐닝과 족답 반응 최적화
  • XYZ 선택권을 위한 NPS-Z-15A NPS-Z-15H와 사용
  • 최고 불변강 건축

응용

NPS-XY-100A nanopositioning 시스템은 적응된 사용에서입니다:

  • 높은 정밀도 현미경 검사법
  • AFM, SPM, NSOM

Last Update: 18. April 2012 23:39

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