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Fase Guiada Flexure Feita A Varredura Piezo com os Sensores de Posição da Capacidade - NPS-XY-100A dos Instrumentos de Queensgate

O NPS-XY-100A é uma fase nanopositioning guiada flexure feita a varredura piezo com os sensores de posição integrados da capacidade. É feito do Invar Super e é capaz de uma definição e de uma reprodutibilidade de secundário-nanômetro.

É capaz de uma definição e de uma reprodutibilidade de secundário-nanômetro. A análise de elemento Finito dos mecanismos da orientação do flexure reduziu movimentos angulares parasíticos a menos de 25 micro-radianos sobre a escala completa de 100 mícrons.

A construção Super do Invar (CTE 0.3ppm K-1, c.f. O Al em 23ppm K)-1 do sistema nanopositioning de NPS-XY-100A minimiza a tracção térmica, que em uma escala do nanômetro é muito importante. O sistema isostatic original da montagem assegura-se de que os esforços do sistema da montagem estejam aliviados correctamente e estabelece-se o centro da fase enquanto o ponto de referência da coordenação.

Características

As características de sistema nanopositioning de NPS-XY-100A:

  • > curso de 100 micrômetros em cada linha central com definição de secundário-nanômetro
  • < 0,005% erros da histerese e das linearidades
  • Primeira freqüência ressonante > 350 Hertz
  • Larguras de faixa Altas (> 50 Hertz) e tempo de resposta rápido
  • Optimização In Situ da resposta da exploração e de piso
  • Uso com NPS-Z-15A ou NPS-Z-15H para opções do XYZ
  • Construção Super do Invar

Aplicações

O sistema nanopositioning de NPS-XY-100A é uso serido em:

  • Microscopia da Elevada Precisão
  • AFM, SPM, NSOM

Last Update: 18. April 2012 23:40

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