O NPS-XY-100A é uma fase nanopositioning guiada flexure feita a varredura piezo com os sensores de posição integrados da capacidade. É feito do Invar Super e é capaz de uma definição e de uma reprodutibilidade de secundário-nanômetro.
É capaz de uma definição e de uma reprodutibilidade de secundário-nanômetro. A análise de elemento Finito dos mecanismos da orientação do flexure reduziu movimentos angulares parasíticos a menos de 25 micro-radianos sobre a escala completa de 100 mícrons.
A construção Super do Invar (CTE 0.3ppm K-1, c.f. O Al em 23ppm K)-1 do sistema nanopositioning de NPS-XY-100A minimiza a tracção térmica, que em uma escala do nanômetro é muito importante. O sistema isostatic original da montagem assegura-se de que os esforços do sistema da montagem estejam aliviados correctamente e estabelece-se o centro da fase enquanto o ponto de referência da coordenação.
Características
As características de sistema nanopositioning de NPS-XY-100A:
- > curso de 100 micrômetros em cada linha central com definição de secundário-nanômetro
- < 0,005% erros da histerese e das linearidades
- Primeira freqüência ressonante > 350 Hertz
- Larguras de faixa Altas (> 50 Hertz) e tempo de resposta rápido
- Optimização In Situ da resposta da exploração e de piso
- Uso com NPS-Z-15A ou NPS-Z-15H para opções do XYZ
- Construção Super do Invar
Aplicações
O sistema nanopositioning de NPS-XY-100A é uso serido em:
- Microscopia da Elevada Precisão
- AFM, SPM, NSOM