NPS-XY-100A piezo просмотренный этап направленный сгибанием nanopositioning с интегрированными датчиками положения емкости. Оно сделан Супер Инвара и способен разрешения и воспроизводимости sub-нанометра.
Оно способен разрешения и воспроизводимости sub-нанометра. Анализ Небесконечного элемента механизмов наведения сгибания уменьшал паразитные угловые движения до меньш чем 25 микро--радианов над польностью рядом 100 микронов.
Супер конструкция Инвара (CTE 0.3ppm K-1, c.f. Al на 23ppm K) системы NPS-XY-100A nanopositioning уменьшает термальное смещение, которое на маштабе нанометра очень важно. Уникально изостатическая система установки обеспечивает что усилия от системы установки правильно сброшены и устанавливает центр этапа по мере того как контрольная точка координировать.
Характеристики
Характеристики системы NPS-XY-100A nanopositioning:
- > перемещение 100 микрометров в каждой оси с разрешением sub-нанометра
- < 0,005% ошибки гистерезиса и линеарностей
- Первая резонирующая частота > 350 Hz
- Высокие ширины полосы частот (> 50 Hz) и времена быстрой реакции
- В-situ оптимизировании скеннирования и шагать реакции
- Польза с NPS-Z-15A или NPS-Z-15H для вариантов XYZ
- Супер конструкция Инвара
Применения
Система NPS-XY-100A nanopositioning одетая польза в:
- Микроскопия Высокой Точности
- AFM, SPM, NSOM