Piezo Просмотренный Этап Направленный Сгибанием с Датчиками Положения Емкости - NPS-XY-100A от Аппаратур Queensgate

NPS-XY-100A piezo просмотренный этап направленный сгибанием nanopositioning с интегрированными датчиками положения емкости. Оно сделан Супер Инвара и способен разрешения и воспроизводимости sub-нанометра.

Оно способен разрешения и воспроизводимости sub-нанометра. Анализ Небесконечного элемента механизмов наведения сгибания уменьшал паразитные угловые движения до меньш чем 25 микро--радианов над польностью рядом 100 микронов.

Супер конструкция Инвара (CTE 0.3ppm K-1, c.f. Al на 23ppm K) системы NPS-XY-100A nanopositioning уменьшает термальное смещение, которое на маштабе нанометра очень важно. Уникально изостатическая система установки обеспечивает что усилия от системы установки правильно сброшены и устанавливает центр этапа по мере того как контрольная точка координировать.

Характеристики

Характеристики системы NPS-XY-100A nanopositioning:

  • > перемещение 100 микрометров в каждой оси с разрешением sub-нанометра
  • < 0,005% ошибки гистерезиса и линеарностей
  • Первая резонирующая частота > 350 Hz
  • Высокие ширины полосы частот (> 50 Hz) и времена быстрой реакции
  • В-situ оптимизировании скеннирования и шагать реакции
  • Польза с NPS-Z-15A или NPS-Z-15H для вариантов XYZ
  • Супер конструкция Инвара

Применения

Система NPS-XY-100A nanopositioning одетая польза в:

  • Микроскопия Высокой Точности
  • AFM, SPM, NSOM

Last Update: 18. April 2012 23:40

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment