Piezo Просмотренный Этап Направленный Сгибанием с Датчиками Положения Емкости - NPS-XY-100A от Аппаратур Queensgate

Piezo Просмотренный Этап Направленный Сгибанием с Датчиками Положения Емкости - NPS-XY-100A от Аппаратур Queensgate

NPS-XY-100A piezo просмотренный этап направленный сгибанием nanopositioning с интегрированными датчиками положения емкости. Оно сделан Супер Инвара и способен разрешения и воспроизводимости sub-нанометра.

Оно способен разрешения и воспроизводимости sub-нанометра. Анализ Небесконечного элемента механизмов наведения сгибания уменьшал паразитные угловые движения до меньш чем 25 микро--радианов над польностью рядом 100 микронов.

Супер конструкция Инвара (CTE 0.3ppm K-1, c.f. Al на 23ppm K) системы NPS-XY-100A nanopositioning уменьшает термальное смещение, которое на маштабе нанометра очень важно. Уникально изостатическая система установки обеспечивает что усилия от системы установки правильно сброшены и устанавливает центр этапа по мере того как контрольная точка координировать.

Характеристики

Характеристики системы NPS-XY-100A nanopositioning:

  • > перемещение 100 микрометров в каждой оси с разрешением sub-нанометра
  • < 0,005% ошибки гистерезиса и линеарностей
  • Первая резонирующая частота > 350 Hz
  • Высокие ширины полосы частот (> 50 Hz) и времена быстрой реакции
  • В-situ оптимизировании скеннирования и шагать реакции
  • Польза с NPS-Z-15A или NPS-Z-15H для вариантов XYZ
  • Супер конструкция Инвара

Применения

Система NPS-XY-100A nanopositioning одетая польза в:

  • Микроскопия Высокой Точности
  • AFM, SPM, NSOM

Last Update: 18. April 2012 23:40

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier