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Neigung-Spitze Nanopositioning-Anlage - XPS-Theta-Gamma-2A von Queensgate-Instrumenten

Das XPS-Theta-Gamma-2A ist für die Anwendungen entwickelt worden, welche die Hochgeschwindigkeitspositionierung von Spiegeln in den optischen Inspektions- und Darstellungsanlagen benötigen. Der Spiegel ist auf die Kippenplattform der Stufe einfach örtlich festgelegt, > 2 Milliradianten des Arbeitsweges mit microradian Vorauflösung zu versehen.

Merkmale

Merkmale der XPS-Theta-Gamma-2A Neigungspitze nanopositioning Anlage umfassen:

  • Reichweite der offenen Schleife von 2 Milliradianten
  • Beiliegende Vorrichtung für hohe Stabilität und Zuverlässigkeit
  • Hohe Bandweite
  • Einfache Biegungsauslegung für niedrige Kosten/Großserienanwendungen

Anwendungen

Die XPS-Theta-Gamma-2A Neigungspitze nanopositioning Anlage kann für solche Anwendungen wie verwendet werden:

  • Präzisionsträgersteuerung
  • Bildbammelkorrektur

Last Update: 19. April 2012 11:19

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