Das XPS-Theta-Gamma-2A ist für die Anwendungen entwickelt worden, welche die Hochgeschwindigkeitspositionierung von Spiegeln in den optischen Inspektions- und Darstellungsanlagen benötigen. Der Spiegel ist auf die Kippenplattform der Stufe einfach örtlich festgelegt, > 2 Milliradianten des Arbeitsweges mit microradian Vorauflösung zu versehen.
Merkmale
Merkmale der XPS-Theta-Gamma-2A Neigungspitze nanopositioning Anlage umfassen:
- Reichweite der offenen Schleife von 2 Milliradianten
- Beiliegende Vorrichtung für hohe Stabilität und Zuverlässigkeit
- Hohe Bandweite
- Einfache Biegungsauslegung für niedrige Kosten/Großserienanwendungen
Anwendungen
Die XPS-Theta-Gamma-2A Neigungspitze nanopositioning Anlage kann für solche Anwendungen wie verwendet werden:
- Präzisionsträgersteuerung
- Bildbammelkorrektur