Fasi grezze/fini di alta precisione di XYZ sono allineamento di XYZ e sistemi di posizionamento computer-controllabili e compatti che integrano i vantaggi delle unità piezo-elettriche di ultra-alto-risoluzione con l'intervallo lungo di viaggio delle fasi motorizzate. Otto versioni sono disponibili avendo unità grezze del CC-motore e passo passo e unità fini piezoelettriche aperte ed a circuito chiuso. Un regolatore ad alto rendimento per l'allineamento componente fotonico automatizzato di XYZ è egualmente disponibile.
Funzionalità Salienti
Le funzionalità salienti del F-131 PI sono:
- È una soluzione grezza o fine ad alta velocità di allineamento.
- È fornito di un regolatore delle alto-prestazioni per l'allineamento automatizzato.
- Completi la caratterizzazione dell'unità in di meno che 1 S.
- I servomotori A Circuito Chiuso ed i motori passo a passo sono disponibili.
- Ha un intervallo di posizionamento fino a 15 millimetri in XYZ.
- Ha 1 risoluzione di nanometro.
- risoluzione piezo-elettrica del μm 100x100x100 alta
- Piezo-elettrico a circuito chiuso Facoltativo è disponibile.