モーターを備えられた段階の長い旅行範囲が付いている超高解像度の piezo 駆動機構の利点を統合する高精度の粗く/良い XYZ の段階はコンピューター制御可能で、コンパクトな XYZ のアラインメントおよび位置方式です。 8 つのバージョンは使用できま段階的なおよび DC モーター粗い駆動機構、およびオープンおよびクローズド・ループ圧電気の罰金駆動機構を持っています。 自動化された XYZ の光通信の構成のアラインメントのための高性能コントローラはまた使用できます。
顕著な機能
F-131 PI の顕著な機能は次のとおりです:
- それは高速粗くか良いアラインメントの解決です。
- それは自動化されたアラインメントのための高パフォーマンスコントローラが装備されています。
- 1 つの S. より少しの装置性格描写を完了して下さい。
- クローズド・ループサーボモーターおよびステッピングモーターは使用できます。
- それに 15 までの mm XYZ で位置の範囲があります。
- それに 1 nm 解像度があります。
- 100x100x100 μm の piezo 高解像度
- 任意選択クローズド・ループ piezo 使用できます。