자동화한 단계의 긴 여행 범위를 가진 매우 높 해결책 piezo 드라이브의 이득을 통합하는 높 정밀도 조악하고/정밀한 XYZ 단계는 컴퓨터 지배할 수 있는, 조밀한 XYZ 줄맞춤 및 직책 시스템입니다. 8개의 버전은 유효하 댄서와 DC 모터 조악한 드라이브, 그리고 열려있는과 닫힌 루프 압전 과료 드라이브가 있. 자동화한 XYZ photonic 구성요소 줄맞춤을 위한 고성능 관제사는 또한 유효합니다.
돌출하는 특징
F-131 PI의 돌출하는 특징은:
- 고속 조악하거나 정밀한 줄맞춤 해결책입니다.
- 그것은 자동화한 줄맞춤을 위한 높 성과 관제사로 갖춰집니다.
- 1개의 S. 더 적은에 있는 장치 특성을 완료하십시오.
- 닫힌 루프 보조 전동기 및 댄서 모터는 유효합니다.
- 그것에는 15까지 mm XYZ에 있는 두는 범위가 있습니다.
- 그것에는 1 nm 해결책이 있습니다.
- 100x100x100 μm piezo 고해상도
- 선택적인 닫힌 루프 piezo 유효합니다.