De high-precision ruwe/fijne stadia van XYZ zijn de computer-controleerbare, compacte groepering van XYZ en plaatsende systemen die de voordelen van ultra-hoog-resolutie piezo aandrijving met de lange reiswaaier van gemotoriseerde stadia integreren. Acht versies zijn beschikbaar hebbend stepper- en gelijkstroom-Motor ruwe aandrijving, en openen en closed-loop piezoelectric fijne aandrijving. Een krachtig controlemechanisme voor geautomatiseerde photonic de componentengroepering van XYZ is ook beschikbaar.
Treffende Eigenschappen
De treffende eigenschappen van F-131 PI zijn:
- Het is een oplossing van de hoge snelheids ruwe of fijne groepering.
- Het is uitgerust met een hoog-prestatiescontrolemechanisme voor geautomatiseerde groepering.
- Volledige apparatenkarakterisering in minder dat 1 s.
- Closed-loop de servomotoren en stepper de motoren zijn beschikbaar.
- Het heeft een plaatsende waaier tot 15 mm in XYZ.
- Het heeft 1 NM- resolutie.
- piezo fijne resolutie 100x100x100 μm
- Facultatieve piezo closed-loop is beschikbaar.