Высокоточные грубые/точные этапы XYZ компьютер-controllable, компактные выравнивание XYZ и системы позиционирования которые интегрируют преимущества приводов ультра-высок-разрешения piezo с рядом многодневного пути моторизованных этапов. 8 версий доступны имеющ приводы приводы stepper и DC-мотора грубые, и открытых и короткозамкнутого витка пьезоэлектрические штрафа. Высокопроизводительный регулятор для автоматизированного выравнивания XYZ фотонного компонентного также доступен.
Заметные Характеристики
Заметные характеристики F-131 PI являются следующими:
- Высокоскоростное грубое или точное разрешение выравнивания.
- Оно оборудован с регулятором высоких эффективностей для автоматизированного выравнивания.
- Завершите характеризацию прибора в которое 1 S.
- Сервомоторы Короткозамкнутого витка и stepper моторы доступны.
- Он имеет располагая ряд до 15 mm в XYZ.
- Он имеет 1 разрешение nm.
- разрешение μm 100x100x100 piezo точное
- Опционный короткозамкнутый виток piezo доступен.