集成超高解決方法壓力驅動器的福利與動力化的階段的長的旅行範圍的高精密度的粗糙/細致的 XYZ 階段是計算機可控制，緊湊 XYZ 對準線和定位系統。 八個版本是可用的有步進和 DC 馬達粗糙的驅動器和開放和閉環壓電罰款驅動器。 自動化的 XYZ 光子的組件對準線的一個高性能管理員也是可用的。
明顯功能
F-131 PI 的明顯功能是：
- 它是一個高速粗糙或細致的對準線解決方法。
- 它用自動化的對準線的高性能管理員裝備。
- 完成在 1 个 S. 的較少的設備描述特性。
- 閉環輔助電動機和梯級電動機是可用的。
- 它有一個確定的範圍 15 mm 在 XYZ。
- 它有 1 nm 解決方法。
- 100x100x100 μm 壓力高解析度
- 選項閉環壓力是可用的。