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EV のグループからの EVG540 によって自動化されるウエファーの結合システム

EV のグループからの EVG540 によって自動化されるウエファーの結合システム

EVG540 によって自動化されるウエファーの結合システムは試験ラインおよび製造業のために設計されている自動化された単一区域の生産の bonder、またウエファーの水平な包装、 3D 相互接続および MEMS アプリケーションの大量の製造業のための R & D です。 モジューラ設計に基づいて EVG540 は私達の十分に統合された生産の結合システムで R & D の段階からの大規模な製造業にウエファーの結合プロセスのより遅い転移に証明された解決を提供します。

EVG540 によって自動化されるウエファーの結束システムの機能

  • 自動化されたローディングとの完全自動化された処理およびとらわれのチャックを荷を下すこと
  • 単一区域の生産の bonder
  • 4 つまでのとらわれのチャックの自動処理
  • 高い安全基準に対応
  • モジュラーとらわれの区域デザイン
  • 実行中の最下の側面の冷却

EVG540 によって自動化されるウエファーの結束システムの指定

  • ヒーターのサイズ = 最大。 ウエファーの直径: 150 の mm、 200mm、 300mm
  • 最少ウエファーの直径: 150mm のヒーター: 50mm; 200mm のヒーター: 100mm の 300mm のヒーター: 200mm
  • とらわれのチャックシステム/アラインメントシステム:
  • 150mm のヒーター: EVG620、 EVG6200 の I.Q. のアライナ、 SmartView
  • 200mm のヒーター: EVG6200 の I.Q. のアライナ、 SmartView
  • 300mm のヒーター: I.Q. のアライナ、 SmartView
  • 最大。 接触力: 3.5kN、 7kN の 10 kN、 20 kN、 40 kN、 60 kN
  • 最大。 温度: 550°C (任意選択 600°C)
  • 真空: 1E-3 mbar (標準)、 1 E-5 (任意選択)、真空のコントローラおよび任意選択プロセスガス管線
  • 陽極の結合のための電源: 0-2.000V/50mA
  • ローディング区域: 3 軸線のロボット
  • ジェミニと互換性があるプロセス (調理法)
  • 最大。 とらわれの区域の番号: 1
  • 顧客/アプリケーション: パイロットライン +manufacturing の大量の製造業

Last Update: 13. January 2015 09:40

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