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Microscope de BRR de TÉLÉMÈTRE RADAR - Hybride SEM/AFM pour des Mesures Extérieures Combinées de Lecture

Le microscope de BRR du TÉLÉMÈTRE RADAR est une unification d'un microscope électronique de lecture avec un microscope atomique de force. Il unit le meilleur des mondes sans effectuer des compromissions de performance pour les deux composants. Les propriétés suivantes effectuent au microscope de BRR un seul système mondial :

  • Est basé sur le TÉLÉMÈTRE RADAR UHV AFM et le Poste De Travail de Traverse de Carl Zeiss Auriga®

  • Le point de traverse de SEM et BOBARD se trouve à l'extrémité en porte-à-faux. Le design comme balayeur témoin permet des mesures de combinaison de chacune des trois techniques exact à la même remarque dans l'espace et sur l'échantillon

  • Interface du logiciel Unique pour des composants de SEM et d'AFM

  • Angle de visualisation de SEM de 0° à 85° tout en maintenant la distance de fonctionnement minimum de SEM de 5 millimètres

  • L'extrémité En Porte-à-faux et l'échantillon peuvent être atteints par BOBARD en 0° et 54° position, extrémité in-situ affilant par le BOBARD supporté

  • Stockage de données Commun des images d'AFM et de SEM

  • Modification facile de Supports entre l'AFM et la fonctionnalité normale d'Auriga® par la trappe exchangable de l'utilisateur SEM

  • Fonctionnalité Illimitée à l'aide de tous les encorbellements normaux d'AFM, aucune sondes d'active requises

  • Supporte tous les modes de fonctionnement communs d'AFM

  • Ensemble d'échographie Extrêmement stable conçu pour la définition atomique unique en trois dimensions

  • Cadrage Automatique de laser/détecteur sur la modification en porte-à-faux

  • Mise À Jour d'Auriga® SEM existant à la fonctionnalité de BRR possible par échange simple de trappe

  • Cahier Des Charges de Balayeur : Chaîne d'Échographie (µm 10 X de x/y de µm X de X x Z) 10 1 µm, définition réelle plus petite que l'atome dans chacune des trois cotes

Le composant d'AFM du BRR est équipé d'un dépistage classique de fléchissement de laser, qui a été adopté pour laisser une distance de fonctionnement très courte pour le fléau de SEM de 5 millimètres. Tout En maintenant cette distance de fonctionnement, l'AFM peut être incliné de 0° environ à 85°, pour rendre une première vue et une vue de côté possibles. Une boucle mécanique extrêmement courte d'extrémité à l'échantillon garantit de forte stabilité. Le balayeur fournit la définition atomique unique réelle dans chacune des trois cotes.

Enfin et surtout les cautionnements frontaux de logiciel intégré un coffre-fort et une collection douce de flux des tâches ainsi que de supports et une combinaison faciles des différents types de données de mesure.

Last Update: 15. July 2013 04:41

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