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Microscopio del BRR del DME - SEM/AFM Ibrido per le Misure Di Superficie Combinate di Scansione

Il microscopio del BRR dal DME è un'unificazione di un microscopio elettronico a scansione con un microscopio atomico della forza. Unisce il meglio di entrambi i mondi senza fare i compromessi della prestazione per entrambe le componenti. I seguenti beni rendono al microscopio del BRR un sistema unico mondiale:

  • È basato sul DME UHV AFM e la Stazione Di Lavoro della Trave Trasversale di Carl Zeiss Auriga®

  • Il punto della trave trasversale di SEM e FIB si trova al suggerimento a mensola. La progettazione come scanner del campione permette esattamente le misure di combinazione di tutte e tre le tecniche allo stesso punto nello spazio e sul campione

  • Singola interfaccia di software per sia le componenti del AFM che di SEM

  • Angolo di visione di SEM da 0° a 85° mentre tenendo una distanza di funzionamento minima di SEM di 5 millimetri

  • Il suggerimento ed il campione A Mensola possono essere raggiunti FIB in 0° e la posizione 54°, suggerimento in situ che affila FIB ha supportato

  • Archiviazione di dati Comune delle immagini di SEM e del AFM

  • Cambiamento facile di Sostegni fra il AFM e la funzionalità standard di Auriga® dalla porta exchangable di SEM dell'utente

  • Funzionalità Illimitata usando tutte le travi a mensola standard del AFM, nessun sonde dell'attivo richieste

  • Supporta tutti i modi di funzionamento comuni del AFM

  • Unità di scansione Estremamente stabile progettata per singola risoluzione atomica tridimensionale

  • Allineamento Automatico rivelatore/del laser su cambiamento a mensola

  • Aggiornamento di Auriga® SEMs esistente a funzionalità del BRR possibile tramite lo scambio semplice della porta

  • Specifica dello Scanner: Intervallo di Scansione (µm di x-y 10 x del µm x di X x Z) 10 1 µm, risoluzione reale subatomica in tutte e tre le dimensioni

La componente del AFM del BRR è fornita di una rilevazione classica di deformazione del laser, che è stata adottata per concedere una distanza di funzionamento molto breve per la colonna di SEM di 5 millimetri. Mentre tiene questa distanza di funzionamento, il AFM può essere inclinato da 0° a circa 85°, per permettere sia una visualizzazione superiore che una vista laterale. Un ciclo meccanico estremamente breve dal suggerimento al campione garantisce il più alta stabilità. Lo scanner fornisce la singola risoluzione atomica reale in tutte e tre le dimensioni.

Infine le garanzie a fine frontale integrate del software un sicuro e flusso di lavoro regolare come pure raccolta di sostegni e combinazione facili dei tipi differenti di dati di misura.

Last Update: 15. July 2013 04:43

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