DME BRR 현미경 - 결합된 지상 스캐닝 측정을 위한 잡종 SEM/AFM

DME에서 BRR 현미경은 원자 군대 현미경을 가진 스캐닝 전자 현미경의 통합입니다. 그것은 두 분대 전부를 위한 성과 타협을 만들기 없이 두 세계 전부의 베스트를 결합합니다. 세계적인 유일한 시스템이 뒤에 오는 속성에 의하여 BRR 현미경에게 합니다:

  • DME UHV AFM와 칼 Zeiss Auriga® 대들보 워크 스테이션에 근거를 둡니다

  • SEM와 거짓말의 대들보 점은 공가 끝에 속입니다. 견본 스캐너로 디자인은 공간에 있는 그리고 견본에 동일 점에 모든 3개의 기술의 조합 측정을 정확하게 허용합니다

  • SEM와 AFM 둘 다 분대를 위한 단 하나 소프트웨어 인터페이스

  • 5개 mm의 최소한도 SEM 작동 거리를 지키고 있는 동안 0°에서 85°에 SEM 보기 각

  • 공가 끝 및 견본은 0°와 54° 위치에 있는 거짓말에 의해, 지원된 거짓말에 의하여 날카롭게 하는 제자리 끝 도달될 수 있습니다

  • AFM와 SEM 심상의 일반적인 자료 기억 장치

  • 사용자 exchangable SEM 문에 의하여 AFM와 Auriga® 표준 기능 사이 지원 쉬운 변경

  • 모든 표준 AFM 외팔보, 요구되는 능동태 탐사기없음을 사용해서 무제한 기능

  • 모든 일반적인 AFM 가동 형태를 지원합니다

  • 3차원 단 하나 원자 해결책을 위해 디자인되는 대단히 안정된 검사 부대

  • 공가 변경에 자동적인 레이저/검출기 줄맞춤

  • 간단한 문 교환에 의하여 가능한 BRR 기능에 존재 Auriga® SEMs의 갱신

  • 스캐너 논고: 검사 범위 (X x Y x Z) 10 µm x 10 µm x 1개의 µm, 모든 3개 차원에서 아원자 실제적인 해결책

BRR의 AFM 분대는 5개 mm의 SEM 란을 위한 아주 짧은 작동 거리를 허용하기 위하여 채택된 고아한 레이저 편향도 탐지로 갖춰집니다. 이 작동 거리를 지키고 있는 동안, AFM는에 85°, 0°에서 평면도 및 측면도를 둘 다 가능하게 하기 위하여 대략 기울 수 있습니다. 끝에서 견본에 극단적으로 짧은 기계적인 루프는 가장 높은 안정성을 보장합니다. 스캐너는 모든 3개 차원에 있는 실제적인 단 하나 원자 해결책을 제공합니다.

마지막으로 중요한 것은 통합 소프트웨어 선불용 보증 안전한 것 및 매끄러운 워크 플로우 뿐 아니라 측정 데이터의 다른 모형의 지원 쉬운 수집 그리고 조합.

Last Update: 15. July 2013 04:45

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment