O microscópio do BRR é uma unificação de um microscópio de elétron da exploração com um microscópio atômico da força. Une o melhor de ambos os mundos sem fazer acordos do desempenho para ambos os componentes. As seguintes propriedades fazem ao microscópio do BRR um sistema original mundial:
- É baseado no DME UHV AFM e a Estação De Trabalho da Viga Mestre de Carl Zeiss Auriga®, (o local do Fabricante, Carl Zeiss)
- O ponto da viga mestre de SEM e FIB encontra-se na ponta do modilhão. O projecto como um varredor da amostra permite medidas da combinação de todas as três técnicas exactamente no mesmo ponto no espaço e na amostra
- Única relação de software para componentes de SEM e do AFM
- Ângulo de visão de SEM de 0° a 85° ao manter uma distância de funcionamento mínima de SEM de 5 milímetros
- A ponta e a amostra do Modilhão podem ser alcançadas FIB em 0° e a posição 54°, ponta in situ que aponta FIB apoiou
- Armazenamento de dados Comum de imagens do AFM e do SEM
- Mudança fácil dos Apoios entre o AFM e a funcionalidade padrão de Auriga® pela porta exchangable de SEM do usuário
- Funcionalidade Ilimitada usando todos os modilhões padrão do AFM, nenhumas pontas de prova do active exigidas
- Apoia todos os modos de operação comuns do AFM
- Unidade de varredura Extremamente estável projetada para a única definição atômica tridimensional
- Alinhamento Automático do laser/detector na mudança do modilhão
- Actualização de Auriga® existente SEMs à funcionalidade do BRR possível pela troca simples da porta
- Especificação do Varredor: Escala da Varredura (µm 10 x do µm x de X x de Y x Z) 10 1 µm, definição real subatômico em todas as três dimensões
O componente do AFM do BRR é equipado com uma detecção clássica da deflexão do laser, que seja adotada para reservar uma distância de funcionamento muito curto para a coluna de SEM de 5 milímetros. Ao manter esta distância de funcionamento, o AFM pode ser inclinado de 0° aproximadamente a 85°, para tornar uma vista superior e uma vista lateral possíveis. Um laço mecânico extremamente curto da ponta à amostra garante a estabilidade a mais alta. O varredor fornece a única definição atômica real em todas as três dimensões.
Último mas não de menor importância as garantias frontend integradas do software um seguro e fluxo de trabalho liso assim como coleção dos apoios e combinação fáceis dos tipos diferentes de dados da medida.