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Microscópio do BRR do DME - SEM Híbrido/AFM para Medidas De Superfície Combinadas da Exploração

O microscópio do BRR do DME é uma unificação de um microscópio de elétron da exploração com um microscópio atômico da força. Une o melhor de ambos os mundos sem fazer acordos do desempenho para ambos os componentes. As seguintes propriedades fazem ao microscópio do BRR um sistema original mundial:

  • É baseado no DME UHV AFM e a Estação De Trabalho da Viga Mestre de Carl Zeiss Auriga®

  • O ponto da viga mestre de SEM e FIB encontra-se na ponta do modilhão. O projecto como um varredor da amostra permite medidas da combinação de todas as três técnicas exactamente no mesmo ponto no espaço e na amostra

  • Única relação de software para componentes de SEM e do AFM

  • Ângulo de visão de SEM de 0° a 85° ao manter uma distância de funcionamento mínima de SEM de 5 milímetros

  • A ponta e a amostra do Modilhão podem ser alcançadas FIB em 0° e a posição 54°, ponta in situ que aponta FIB apoiou

  • Armazenamento de dados Comum de imagens do AFM e do SEM

  • Mudança fácil dos Apoios entre o AFM e a funcionalidade padrão de Auriga® pela porta exchangable de SEM do usuário

  • Funcionalidade Ilimitada usando todos os modilhões padrão do AFM, nenhumas pontas de prova do active exigidas

  • Apoia todos os modos de operação comuns do AFM

  • Unidade de varredura Extremamente estável projetada para a única definição atômica tridimensional

  • Alinhamento Automático do laser/detector na mudança do modilhão

  • Actualização de Auriga® existente SEMs à funcionalidade do BRR possível pela troca simples da porta

  • Especificação do Varredor: Escala da Varredura (µm 10 x do µm x de X x de Y x Z) 10 1 µm, definição real subatômico em todas as três dimensões

O componente do AFM do BRR é equipado com uma detecção clássica da deflexão do laser, que seja adotada para reservar uma distância de funcionamento muito curto para a coluna de SEM de 5 milímetros. Ao manter esta distância de funcionamento, o AFM pode ser inclinado de 0° aproximadamente a 85°, para tornar uma vista superior e uma vista lateral possíveis. Um laço mecânico extremamente curto da ponta à amostra garante a estabilidade a mais alta. O varredor fornece a única definição atômica real em todas as três dimensões.

Último mas não de menor importância as garantias frontend integradas do software um seguro e fluxo de trabalho liso assim como coleção dos apoios e combinação fáceis dos tipos diferentes de dados da medida.

Last Update: 15. July 2013 04:47

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