Микроскоп BRR DME - Гибрид SEM/AFM для Совмещенных Поверхностных Измерений Скеннирования

Микроскоп BRR DME - Гибрид SEM/AFM для Совмещенных Поверхностных Измерений Скеннирования

Микроскоп BRR от DME унификация электронного кинескопа скеннирования с атомным микроскопом усилия. Он соединяет самое лучшее обоих миров без делать компромиссы представления для обоих компонентов. Следующие свойства делают микроскопом BRR всемирную уникально систему:

  • Основывает на DME UHV AFM и Рабочем месте Поперечной Балки Карл Zeiss Auriga®

  • Пункт поперечной балки SEM и FIB лежит на консольной подсказке. Конструкция как блок развертки образца позволяет измерениям комбинации всех 3 методов на этап точного такой в космосе и на образце

  • Одиночный интерфейс ПО и для компонентов SEM и AFM

  • Угол наблюдения SEM от 0° к 85° пока держащ минимальное расстояние деятельности SEM 5 mm

  • Консольная подсказка и образец могут достигнуться FIB в положении 0° и 54°, в-situ подсказке поддержанным FIB

  • Общее хранение данных изображений AFM и SEM

  • Изменение Поддержек легкое между AFM и стандартной функциональностью Auriga® дверью SEM пользователя exchangable

  • Неограниченная функциональность путем использование всех стандартных cantilevers AFM, отсутствие требуемых зондов active

  • Поддерживает все общие режимы деятельности AFM

  • Весьма стабилизированный блок развертки конструированный для трехмерного одиночного атомного разрешения

  • Автоматическое выравнивание лазера/детектора на консольном изменении

  • Новая Версия существуя Auriga® SEMs к функциональности BRR возможной простым обменом двери

  • Спецификация Блока Развертки: Просмотрите ряд (X x Y x Z) 10 µm µm x 10 x 1 µm, реальное разрешение subatomic в всех 3 размерах

Компонент AFM BRR оборудован с классическим обнаружением отклонения лазера, которое было принято для того чтобы позволить очень короткому расстоянию деятельности для колонки SEM 5 mm. Пока держащ это расстояние деятельности, AFM можно опрокинуть от 0° к около 85°, для того чтобы сделать и взгляд сверху и взгляд со стороны возможными. Весьма короткая механически петля от подсказки к образцу гарантирует самую высокую стабилность. Блок развертки обеспечивает реальное одиночное атомное разрешение в всех 3 размерах.

Продолжайте но не наименьше гарантии интегрированного ПО frontend безопасная и ровная подача работы так же, как поддержки легкие собрание и сочетание из разные виды данных по измерения.

Last Update: 15. July 2013 04:48

Other Equipment by this Supplier