Микроскоп BRR DME - Гибрид SEM/AFM для Совмещенных Поверхностных Измерений Скеннирования

Микроскоп BRR от DME унификация электронного кинескопа скеннирования с атомным микроскопом усилия. Он соединяет самое лучшее обоих миров без делать компромиссы представления для обоих компонентов. Следующие свойства делают микроскопом BRR всемирную уникально систему:

  • Основывает на DME UHV AFM и Рабочем месте Поперечной Балки Карл Zeiss Auriga®

  • Пункт поперечной балки SEM и FIB лежит на консольной подсказке. Конструкция как блок развертки образца позволяет измерениям комбинации всех 3 методов на этап точного такой в космосе и на образце

  • Одиночный интерфейс ПО и для компонентов SEM и AFM

  • Угол наблюдения SEM от 0° к 85° пока держащ минимальное расстояние деятельности SEM 5 mm

  • Консольная подсказка и образец могут достигнуться FIB в положении 0° и 54°, в-situ подсказке поддержанным FIB

  • Общее хранение данных изображений AFM и SEM

  • Изменение Поддержек легкое между AFM и стандартной функциональностью Auriga® дверью SEM пользователя exchangable

  • Неограниченная функциональность путем использование всех стандартных cantilevers AFM, отсутствие требуемых зондов active

  • Поддерживает все общие режимы деятельности AFM

  • Весьма стабилизированный блок развертки конструированный для трехмерного одиночного атомного разрешения

  • Автоматическое выравнивание лазера/детектора на консольном изменении

  • Новая Версия существуя Auriga® SEMs к функциональности BRR возможной простым обменом двери

  • Спецификация Блока Развертки: Просмотрите ряд (X x Y x Z) 10 µm µm x 10 x 1 µm, реальное разрешение subatomic в всех 3 размерах

Компонент AFM BRR оборудован с классическим обнаружением отклонения лазера, которое было принято для того чтобы позволить очень короткому расстоянию деятельности для колонки SEM 5 mm. Пока держащ это расстояние деятельности, AFM можно опрокинуть от 0° к около 85°, для того чтобы сделать и взгляд сверху и взгляд со стороны возможными. Весьма короткая механически петля от подсказки к образцу гарантирует самую высокую стабилность. Блок развертки обеспечивает реальное одиночное атомное разрешение в всех 3 размерах.

Продолжайте но не наименьше гарантии интегрированного ПО frontend безопасная и ровная подача работы так же, как поддержки легкие собрание и сочетание из разные виды данных по измерения.

Last Update: 15. July 2013 04:48

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment