DME BRR 显微镜 - 联合的表面扫描评定的杂种 SEM/AFM

从 DME 的 BRR 显微镜是一个扫描电子显微镜的统一有一个基本强制显微镜的。 它团结两个世界最好,无需做两个要素的性能妥协。 下列属性做 BRR 显微镜全世界唯一系统:

  • 在 DME UHV AFM 和卡尔蔡司 Auriga® 横梁工作区基础上

  • 横梁点 SEM 和小谎位于在这个悬臂式技巧。 设计作为范例扫描程序允许所有三个技术的组合评定在同一点在空间和在这个范例

  • SEM 和 AFM 要素的唯一软件界面

  • SEM 视角从 0° 到 85°,当保留最小的 SEM 工作距离 5 mm 时

  • 悬臂式技巧和范例可以由在 0° 和 54° 位置,削尖由小谎的原地技巧的小谎到达支持

  • AFM 和 SEM 图象公用数据存储

  • 在 AFM 和标准 Auriga® 功能之间的支持容易的更改由用户 exchangable SEM 门

  • 通过使用所有标准 AFM 悬臂,没有需要的激活探测的无限的功能

  • 支持所有公用 AFM 操作方式

  • 为三维唯一基本解决方法设计的极稳定的扫瞄器

  • 在悬臂式更改的自动激光/探测器对准线

  • 现有的 Auriga® SEMs 更新对 BRR 功能的可能由简单的门替换

  • 扫描程序说明: 扫描范围 (X X - Y 的 x Z) 10 µm x 10 µm x 1 µm,实际解决方法亚原子在所有三维数

BRR 的 AFM 要素用古典激光偏折检测装备,采用准许 5 mm 的 SEM 列的一个非常短的工作距离。 当保留此工作距离时, AFM 可以从 0° 大约被掀动到 85°,使一张的顶视图和成为可能一张的侧视图。 一个非常短的机械循环从技巧到范例保证高稳定性。 扫描程序提供在所有三维数的实际唯一基本解决方法。

最后但不是最不重要的集成软件前端的保证安全和流畅工作流以及支持评定数据的不同的类型的容易的收藏和组合。

Last Update: 15. July 2013 04:37

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