DME BRR 顯微鏡 - 聯合的表面掃描評定的雜種 SEM/AFM

從 DME 的 BRR 顯微鏡是一個掃描電子顯微鏡的統一有一個基本強制顯微鏡的。 它團結兩個世界最好,无需做兩個要素的性能妥協。 下列屬性做 BRR 顯微鏡全世界唯一系統:

  • 在 DME UHV AFM 和卡爾蔡司 Auriga® 橫梁工作區基礎上

  • 橫梁點 SEM 和小謊位於在這個懸臂式技巧。 設計作為範例掃描程序允許所有三個技術的組合評定在同一點在空間和在這個範例

  • SEM 和 AFM 要素的唯一軟件界面

  • SEM 視角從 0° 到 85°,當保留最小的 SEM 工作距離 5 mm 時

  • 懸臂式技巧和範例可以由在 0° 和 54° 位置,削尖由小謊的原地技巧的小謊到達支持

  • AFM 和 SEM 圖像公用數據存儲

  • 在 AFM 和標準 Auriga® 功能之間的支持容易的更改由用戶 exchangable SEM 門

  • 通過使用所有標準 AFM 懸臂,沒有需要的激活探測的無限的功能

  • 支持所有公用 AFM 操作方式

  • 為三維唯一基本解決方法設計的極穩定的掃瞄器

  • 在懸臂式更改的自動激光/探測器對準線

  • 現有的 Auriga® SEMs 更新對 BRR 功能的可能由簡單的門替換

  • 掃描程序說明: 掃描範圍 (X X - Y 的 x Z) 10 µm x 10 µm x 1 µm,實際解決方法亞原子在所有三維數

BRR 的 AFM 要素用古典激光偏折檢測裝備,採用准許 5 mm 的 SEM 列的一個非常短的工作距離。 當保留此工作距離時, AFM 可以從 0° 大約被掀動到 85°,使一張的頂視圖和成為可能一張的側視圖。 一個非常短的機械循環從技巧到範例保證高穩定性。 掃描程序提供在所有三維數的實際唯一基本解決方法。

最后但不是最不重要的集成軟件前端的保證安全和流暢工作流以及支持評定數據的不同的類型的容易的收藏和組合。

Last Update: 15. July 2013 04:38

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