Cryogen-Freie horizontale Feldmagnet-Fühlerstation - See-Ufer-Baumuster CRX-EM-HF

Das Baumuster CRX-EM-HF ist eine dynamisches cryogen-freies Elektromagnet-basiertes Mikro manipulierte Fühlerstation, die Anwendung in der zerstörungsfreien Prüfung von Einheiten ein volle und teilweise Wafers bis 25 mm (1 herein) im Durchmesser findet. Diese Plattform wird verwendet, um elektrooptisches, elektrisches, parametrisches zu messen, GLEICHSTROM, hohe Z-, HF- und Mikrowelleneigenschaften von Versuchseinrichtungen und von Materialien. Quantums-Kabel und -punkte, nanoscale Elektronik sowie Halbleiter sind Materialien, die in einem CRX-EM-HF gemessen werden. Eine mannigfaltige Auswahl von Kabeln, Fühler, Beispielhalterungen und Optionen helfen, das CRX-EM-HF zu konfigurieren, um spezifische Maßanwendungen zufriedenzustellen.

Das CRX-EM-HF basiert auf einer falschen Temperatur CCR Sumitomo 4 K, wird ausgerüstet mit einem kOe 6,0 (0,6 T) horizontales (auf gleicher Ebene) Bereichelektromagnet. Effiziente Temperaturoperation und -regelung über einer Temperaturspanne 8 K bis 400 K wird aktiviert, ohne Betriebskosten von flüssigen cryogens sich zuzuziehen. Eine alternative austauschbare Stufe der hohen Temperatur Beispielbietet eine Temperaturspanne 20 K bis 500 K. an. Ein Fühler und eine Heizung wird in jeder kälteerzeugenden Stufe, um schnelle thermische Antwort zu aktivieren zur Verfügung gestellt und für Beispielaustausch schnell aufzuwärmen. Die Anlage wird mit aktiv abgekühlt ausgerüstet, diese Strahlung des Abfangschwarzen körpers vor ihr abschirmend die Probe erreichend, kleine thermische Steigungen sicherstellend.

Auslegungserwägungen waren die eingelassene Ordnung, zum eines benutzerfreundlichen, vibrationsarmen Hilfsmittels anzubieten. Die Dämpfung und die integrierte Schwingungsoszillation garantiert, dass Körperschall nicht Maß beeinflußt. Beispielstufenschwingung ist weniger als 1 µm (X-, O- und Z-Äxte) durch die komplette Temperaturspanne begrenzt. Benutzer-Konfiguration des CRX-EM-HF ist bis zu vier in hohem Grade Stall mikro-manipulierten Stufen jede anbietende genaue Dreiachsenregelung der Fühlerstellung erfolgt, zum der Fühlerspitze auf Einheitsmerkmalen genau zu landen. Es ist möglich, jeden Fühler ±5° über seinen Schwerpunkt zu rotieren (planarized) um zu garantieren dass Multispitze Fühler richtig mit der Probe ausgerichtet werden. Die Stufenrotationsoption des Beispiel 360° aktiviert das Messen von eckig-abhängigen und anisotropen Maschinetransport Eigenschaften des DUT. Eigene Fühlerspitzen in einer Reichweite der Größen und der Materialien senken thermische Masse und optimieren elektrische Kontakte zum DUT. Das Thermische Verbinden von Fühlerspitzen sind zur Beispielstufe erfolgt, um Wärmeübertragung auf das DUT herabzusetzen.

Hauptmerkmale

Die Hauptmerkmale der Fühler-Station des Baumuster-CRX-EM-HF sind:

  • kOe 6,0 (0,6 T) horizontales (auf gleicher Ebene) Bereichelektromagnet
  • Kreisprozesskühlraum bietet hoher Stabilität cryogen-freie Operation von 8 K bis 400 K an
  • Steuerstabilität bis 10 M
  • Prüfen Sie Austauschschleifenzeit von weniger als 4,5 h
  • Niedrige Schwingungsauslegung kleiner als 1 µm in Beispielstadium (X-, O- und Z-Äxte)
  • Stufenrotationsoption des Beispiel 360°
  • Maße von GLEICHSTROM zu 67 Gigahertz
  • Passt bis 25 mm oder 1 in den Durchmesserwafers an
  • Konfigurierbar mit thermisch verankertem mikro-manipuliertem Fühler bis vier armiert
  • Prüfen Sie Waffen mit 3 Schwerpunktseinstellungen und ±5°-planarization
  • Kabel, Schilder und Abdeckungen setzen elektrische Geräusche und Wärmestrahlungsverluste herab
  • Optionen und Zubehör für Kundenbezogenheit zum spezifischen Forschungsbedarf

Last Update: 4. September 2012 03:43

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