stazione orizzontale Senza Cryogen della sonda del magnete di campo - Modello CRX-EM-HF della Riva del Lago

Il modello CRX-EM-HF è una stazione della sonda manipolata a micro basato a elettromagnete senza cryogen dinamico, che trova l'applicazione in prova non distruttiva delle unità sopra wafer pieni e parziali fino a 25 millimetri (1 dentro) di diametro. Questo binario è utilizzato per misurare elettro-ottico, elettrico, parametrico, la CC, gli alti beni di Z, di RF e di microonda delle unità e dei materiali della prova. I collegare ed i punti di Quantum, l'elettronica del nanoscale come pure i semiconduttori sono materiali che sono misurati in un CRX-EM-HF. Una selezione varia dei cavi, le sonde, i supporti del campione e le opzioni contribuiscono a configurare il CRX-EM-HF per soddisfare le applicazioni specifiche di misura.

Il CRX-EM-HF è basato su una temperatura bassa CCR di Sumitomo 4 K, è fornito 6,0 di un kOe (0,6 T) elettromagneti orizzontali del giacimento (dell'in-aereo). L'operazione ed il controllo Efficienti della temperatura sopra una gamma di temperature di 8 K a 400 K è permessa a senza sostenere le spese d'esercizio dei cryogens liquidi. Una fase ad alta temperatura intercambiabile alternativa del campione offre una gamma di temperature di 20 K a 500 K. Un sensore e un radiatore è fornito in ogni fase criogenica per permettere alla risposta termica rapida e per riscaldare rapidamente per lo scambio del campione. Il sistema è fornito attivamente del raffreddato di proteggendo quella radiazione di corpo nero delle intercettazioni prima di che raggiunge il campione assicurando i piccoli gradienti termici.

Le considerazioni di Progettazione erano ordine contenuto per offrire un facile da usare, strumento di basso vibrazione. Ammortizzare e l'oscillazione integrata di vibrazione assicurano che la vibrazione meccanica non pregiudichi la misura. La vibrazione della fase del Campione è limitata meno di 1 µm (asce di X, di Y e di Z) attraverso la gamma di temperature completa. la Utente-Configurazione del CRX-EM-HF è fatta fino a quattro altamente fasi micro-manipolate stalla ogni controllo giroscopico accurato d'offerta della posizione della sonda per atterrare precisamente il suggerimento della sonda sulle funzionalità dell'unità. È possibile girare ogni sonda ±5° circa il suo asse (planarized) per assicurarsi che le sonde del multi-suggerimento siano state allineate correttamente rispetto al campione. L'opzione di rotazione della fase del campione 360° permette a misurare i beni angolare-dipendenti ed anisotropi del magnete-trasporto del DUT. I suggerimenti Privati della sonda in un intervallo delle dimensioni e dei materiali portano giù la massa termica ed ottimizzano i contatti elettrici al DUT. Il collegamento Termico dei suggerimenti della sonda è fatto alla fase del campione per minimizzare lo scambio di calore nel DUT.

Caratteristiche Fondamentali

Le caratteristiche fondamentali della Stazione della Sonda del Modello CRX-EM-HF sono:

  • 6,0 kOe (0,6 T) elettromagneti orizzontali del giacimento (dell'in-aereo)
  • Il frigorifero del ciclo Chiuso offre all'alta stabilità l'operazione senza cryogen da 8 K a 400 K
  • Stabilità di Controllo a 10 Mk
  • Campioni il tempo di ciclo di scambio di meno di 4,5 h
  • Progettazione Bassa di vibrazione di meno di 1 µm nella fase del campione (asce di X, di Y e di Z)
  • opzione di rotazione della fase del campione 360°
  • Misure da CC a 67 Gigahertz
  • Accomoda fino a 25 millimetri o 1 in wafer del diametro
  • Configurabile con fino a quattro armi micro-manipolate termicamente ancorate della sonda
  • Armi della Sonda con 3 adeguamenti di asse e il planarization di ±5°
  • I Cavi, i carter e le guardie minimizzano il disturbo elettrico e le perdite di radiazione termica
  • Opzioni ed accessori per personalizzazione ai bisogni specifici di ricerca

Last Update: 4. September 2012 03:43

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