Cryogen 자유로운 수평한 필드 자석 탐사기 역 - 호수 해안 모형 CRX-EM-HF

모형 CRX-EM-HF는 장치의 비파괴적인 테스트에 있는 응용을 가득 차있는 부분적인 웨이퍼 직경에서 25까지 mm (1 안으로) 위에 찾아내는 동적인 cryogen 자유로운 전자석 기지를 둔 마이크로 컴퓨터에 의하여 조작된 탐사기 역입니다. 이 플래트홈은 높은 Z, RF 및 마이크로파 속성을 전기 광학, 전기, 매개 변수를, 시험 장치와 물자의 DC 측정하기 위하여, 사용됩니다. Quantum 철사 및 점, nanoscale 전자공학 뿐 아니라 반도체는 CRX-EM-HF에서 측정되는 물자입니다. 케이블의 가지가지 선택, 탐사기, 견본 홀더 및 선택권은 특정 측정 응용을 만족시키기 위하여 CRX-EM-HF를 구성하는 것을 돕습니다.

CRX-EM-HF는 6.0 kOe로 Sumitomo 4 K 기준 온도 CCR에, 갖춰집니다 근거를 둡니다 (0.6 T) 수평한 (에서 비행기) 필드 전자석. 400 K에 8 K의 온도 편차에 능률적인 온도 작동 그리고 통제는 액체 cryogens의 경영비를 부딪히기 없이 가능하게 됩니다. 양자택일 호환성이 있는 고열 견본 단계는 500 K.에 20 K의 온도 편차를 제안합니다. 센서 및 히이터는 각 저온 단계에서 빠른 열 반응을 가능하게 하고 빨리 견본 교환을 위해 데우기 위하여 제공됩니다. 시스템은 액티브하게 냉각하는으로 갖춰져 그 차단 흑체 방사선을 견본을 도달하는 그것 이전에 보호해 작은 열 기온변화도를 지키.

디자인 고려사항은 사용하기 쉬웠던 것 의 낮 진동 공구 제안하기 위하여 취했습니다. 기계적인 진동이 측정에 영향을 미치지 않다는 것을 감쇠 및 통합 진동 진동은 확인합니다. 견본 단계 진동은 실물대 온도 편차를 통해서 1개 미만 µm이라고 (X, Y 및 Z 도끼) 제한됩니다. CRX-EM-HF의 사용자 윤곽은 4개의 고도로 안정된 마이크로 조작된 단계까지 정확하게 장치 특징에 탐사기 끝을 도착하는 탐사기 위치의 각 제안 정확한 3 축선 통제 행해집니다. (planarized) 그것의 축선에 관하여 각 다중 끝 탐사기가 견본을 제대로 맞추어진다는 것을 확인하기 위하여 탐사기 ±5°를 자전하는 것이 가능합니다. 360° 견본 단계 교체 선택권은 DUT의 모나 의존하고는 이방성 자석발전기 수송 속성 측정 가능하게 합니다. 규모와 물자의 범위에 있는 소유 탐사기 끝은 열 질량을 끌어내리고 DUT에 전기적 접점을 낙관합니다. 탐사기 끝의 열 연결은 견본 단계에 DUT에 열전달을 극소화하기 위하여 행해집니다.

주요 특징

모형 CRX-EM-HF 탐사기 역의 주요 특징은:

  • 6.0 kOe (0.6 T) 수평한 (에서 비행기) 필드 전자석
  • 닫히는 주기 냉장고는 높은 안정성에게 8 K에서 400 K에 cryogen 자유로운 작동을 제안합니다
  • 10 mK에 통제 안정성
  • 교환 주기 시간을의 4.5 이하 h 간색하십시오
  • 낮은 진동 디자인 견본 단계 (X, Y 및 Z 도끼)에서 1개 이하 µm
  • 360° 견본 단계 교체 선택권
  • DC에서 67 GHz에 측정
  • 직경 웨이퍼에서 25까지 mm 또는 1개을 수용합니다
  • 4까지 열로 정박한 마이크로 조작한 탐사기에 설정 가능한 무장합니다
  • 3 측 조정 및 ±5° planarization를 가진 무기를 시험하십시오
  • 케이블, 방패 및 가드는 전기 소음 및 열 복사 손실을 극소화합니다
  • 특정 연구 필요에 주문화를 위한 선택권 그리고 부속품

Last Update: 4. September 2012 03:43

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