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Stazione Superconduttrice della Sonda del Magnete del Campo Verticale Senza Cryogen - Modello CRX-VF della Riva del Lago

Il Modello CRX-VF è una stazione micro-manipolata completa e senza cryogen della sonda usata per NDT delle unità sui wafer parziali e pieni fino ad un diametro da 51 millimetro. Il CRX-VF è un binario utilizzato per misurare i beni elettro-ottici, elettrici, parametrici, di CC, di RF, alti--z e di microonda delle unità e dei materiali della prova. I collegare ed i punti di Quantum, l'elettronica del nanoscale, i semiconduttori e le unità spintronic sono materiali standard misurati in un CRX-VF. Una vasta selezione dei cavi, le sonde, i supporti del campione e le opzioni contribuiscono a configurare il CRX-VF per soddisfare le applicazioni specifiche di misura.

Con una singola temperatura bassa CCR di Sumitomo 4 K, il CRX-VF è provveduto di un magnete superconduttore del campo verticale capace dei 22,5 massimi KOe (2,25 T). Offre l'operazione ed il controllo efficienti della temperatura sopra una gamma di temperature di 10K a 500 K senza le spese d'esercizio dei cryogens liquidi. Ogni fase criogenica è provveduta di un radiatore e di un sensore per offrire la risposta ed il riscaldamento termici rapidi della rapida per lo scambio del campione. La radiazione di Corpo Nero è intercettata dalla protezione attivamente raffreddata prima che raggiunga il campione che assicura i piccoli gradienti termici.

Il CRX-VF è utente configurato con fino a sei armi micro-manipolate ultra-stabili della sonda, ogni controllo di posizione accurato d'offerta della sonda di 3 assi atterrare precisamente il suggerimento della sonda sulle funzionalità dell'unità. Ogni sonda può anche essere ±5° rotante circa il suo asse (planarized) per assicurarsi che le sonde del multi-suggerimento siano state allineate giustamente rispetto al campione. È possibile ottimizzare le misure di CC per il contatto termico ad alta impedenza, a basso rumore o alto all'unità nell'ambito della prova (DUT). Le Configurazioni fino a 67GHz sono incluse nelle misure di RF. È possibile introdurre le sorgenti ottiche con modifica a fibra ottica facoltativa del braccio della sonda o osservare le finestre della porta. Le armi Private della sonda sono a disposizione in un intervallo delle dimensioni e dei materiali minimizzare la massa termica come pure per ottimizzare il contatto elettrico al DUT.

Ancora, i suggerimenti della sonda sono collegati termicamente alla protezione di radiazione per minimizzare lo scambio di calore nel DUT.

Le Caratteristiche Fondamentali Del Modello CRX-VF Sondano la Stazione

Le caratteristiche fondamentali della Stazione della Sonda del Modello CRX-VF sono:

  • 22,5 kOe (T) magnete superconduttore del campo verticale 2,25
  • Il frigorifero del ciclo Chiuso fornisce l'operazione senza cryogen dell'alta stabilità da 10 K a 500 K
  • Stabilità di Controllo a 10 Mk
  • Progettazione Bassa di vibrazione di meno di 1 µm nella fase del campione (asce di X, di Y e di Z)
  • Misure da CC a 67 Gigahertz
  • Campioni i supporti ottimizzati per le misure a basso rumore, ad alta frequenza, o alte dell'impedenza
  • Accomoda i wafer del diametro da fino a 51 millimetro (2 dentro)
  • Può essere configurato con fino a sei armi micro-manipolate termicamente ancorate della sonda
  • Sondi le armi con gli adeguamenti giroscopici e il planarization di ±5°
  • I Cavi, i carter e le guardie diminuiscono il disturbo elettrico e le perdite di radiazione termica
  • Opzioni ed accessori per personalizzazione ai bisogni specifici di ricerca

Last Update: 4. September 2012 05:51

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