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Cryogen 자유로운 수직 필드 Superconducting 자석 탐사기 역 - 호수 해안 모형 CRX-VF

모형 CRX-VF는 51 mm 직경까지 부분 적이고 및 가득 차있는 웨이퍼에 장치의 NDT에 사용된 포괄 적이고, cryogen 자유로운 마이크로 조작한 탐사기 역입니다. CRX-VF는 시험 장치와 물자의 전기 광학, 전기, 매개 변수, DC, RF, 높은 Z 및 마이크로파 속성을 측정하기 위하여 사용된 플래트홈 입니다. Quantum 철사 및 점, nanoscale 전자공학, 반도체 및 spintronic 장치는 CRX-VF에서 측정된 표준 물자입니다. 케이블의 넓은 선택, 탐사기, 견본 홀더 및 선택권은 특정 측정 응용을 만족시키기 위하여 CRX-VF를 구성하는 것을 돕습니다.

Sumitomo 단 하나 4 K 기준 온도 CCR로, CRX-VF는 최대 22.5 KOe (T) 2.25 가 가능한 수직 필드 superconducting 자석으로 제공됩니다. 그것은 액체 cryogens의 경영비 없이 500 K에 10K의 온도 편차에 능률적인 온도 작동 그리고 통제를 제안합니다. 각 저온 단계는 히이터 및 센서로 견본 교환을 위한 빠른 열 반응 그리고 급속한 워밍업을 제안하기 위하여 제공됩니다. 흑체 방사선은 액티브하게 냉각된 보호에 의하여 작은 열 기온변화도를 확신할 견본을 도달하기 전에 차단됩니다.

CRX-VF는 장치 특징에 탐사기 끝을 정확하게 도착하는 6개까지 매우 안정되어 있는 마이크로 조작한 탐사기 무기로 구성된 사용자, 각 제안 정확한 3개의 축선 탐사기 위치 통제 입니다. 각 탐사기는 또한 (planarized) 다중 끝 탐사기가 견본을 맞게 맞추어진다는 것을 확인하는 그것의 축선에 관하여 자전한 ±5°일 수 있습니다. 시험 상황에서 장치에 높 임피던스의, 저잡음 또는 높이 열 접촉을 위한 DC 측정 낙관하는 것이 가능합니다 (DUT). 67GHz까지 윤곽은 RF 측정에서 포함됩니다. 선택적인 광섬유 탐사기 무기 수정 또는 전망 포트 Windows를 통해서 광학적인 근원을 소개하는 것이 가능합니다. 소유 탐사기 무기는 규모와 물자의 범위에서 유효합니다 열 질량을 극소화하고기 위하여 뿐 아니라 DUT에 전기적 접점을 낙관하게.

게다가, 탐사기 끝은 방사선 보호에 열로 DUT에 열전달을 극소화하기 위하여 연결됩니다.

모형 CRX-VF의 주요 특징은 역을 시험합니다

모형 CRX-VF 탐사기 역의 주요 특징은:

  • 22.5 kOe (2.25 T) 수직 필드 superconducting 자석
  • 닫히는 주기 냉장고는 10 K에서 500 K에 높은 안정성 cryogen 자유로운 작동을 제공합니다
  • 10 mK에 통제 안정성
  • 낮은 진동 디자인 견본 단계 (X, Y 및 Z 도끼)에서 1개 이하 µm
  • DC에서 67 GHz에 측정
  • 저잡음, 고주파, 높은 임피던스 측정을 위해 낙관된 홀더를 간색하십시오
  • 51까지 mm (2 안으로) 직경 웨이퍼를 수용합니다
  • 6개까지 열로 정박한 마이크로 조작한 탐사기 무기로 구성될 수 있습니다
  • 3 축선 조정과 ±5° planarization를 가진 무기를 시험하십시오
  • 케이블, 방패 및 가드는 전기 소음 및 열 복사 손실을 감소시킵니다
  • 특정 연구 필요에 주문화를 위한 선택권 그리고 부속품

Last Update: 4. September 2012 05:51

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