Erschwingliche, universelle cryogen-freie Fühlerstation - See-Ufer-Baumuster CRX-6.5K

Das Baumuster CRX-6.5K ist cryogen-freien, niedrigen Kosten, mikro-manipulierte eine Fühlerstation, die ein für zerstörungsfreie Prüfung von den vollen Einheiten verwendet werden und teilweisen Wafers bis 51 mm (2 herein) im Durchmesser. Die CRX-6.5K Plattform wird verwendet, um elektrooptische, elektrische, parametrische, hohe Z, GLEICHSTROM, HF und die Mikrowelleneigenschaften von Materialien und von Versuchseinrichtungen zu messen. Quantums-Kabel und -punkte, nanoscale Elektronik und Halbleiter sind die typischen Materialien, die in einem CRX-6.5K gemessen werden. Eine breite Auswahl von Kabeln, Fühler, Beispielhalterungen, Hilfen konfigurieren das CRX-6.5K, um spezifische Maßanwendungen zufriedenzustellen.

Das CRX-6.5K basiert auf einer falschen Temperatur CCR Sumitomo 6,5 K und bietet effiziente Temperaturoperation und -regelung über einer Temperaturspanne weniger als 10 K bis 350 K ohne die Betriebskosten von flüssigen cryogens an. Eine Temperaturspanne 20K zu 675K wird durch eine wahlweise austauschbare Stufe der hohen Temperatur Beispielangeboten. Werden die radiationn Schildstufen und die Probe mit einem Fühler und einer Heizung versehen, um schnelle thermische Antwort und schnelles Aufwärmen für Beispielaustausch zu aktivieren. Die Aktiv abgekühlte diese Abschirmung fängt Strahlung des schwarzen Körpers ab, bevor es die Probe erreicht und die Fühler, die durch die Beispielstufe abgekühlt werden, kleine thermische Steigungen sicherstellen.

Das CRX-6.5K ist der Benutzer, der mit bis sechs ultra-stabilen mikro-manipulierten Fühlerwaffen, jede aktivierende genaue Fühler-Stellungsregelung mit 3 Schwerpunkten konfiguriert wird, die Fühlerspitze auf Einheitsmerkmalen genau zu landen. Rotation jedes Fühlers kann getanes ±5° über seinen Schwerpunkt sein (planarized) zum von Multispitze Fühlern sicherzustellen werden ausgerichtet richtig mit der Probe. GLEICHSTROM-Maße können für lärmarmen, hochohmigen (niedrige Leckage) oder hoch-thermischen Kontakt zur Einheit in Versuch optimiert werden (DUT). HF-Maße umfassen Konfigurationen bis zu 67 Gigahertz. Einleitung von optischen Quellen ist durch Darstellungsfeldfenster oder wahlweise Faseroptikfühlerwaffenmodifikation erfolgt. Eigene Fühlerwaffen in einer Reichweite der Größen und der Materialien verringern thermische Masse und optimieren elektrischen Kontakt zum DUT. Außerdem werden Fühlerspitzen thermisch mit der Beispielstufe verbunden, um Wärmeübertragung auf das DUT herabzusetzen.

Hauptmerkmale

Die Hauptmerkmale der Fühler-Station des Baumuster-CRX-6.5K sind:

  • Kreisprozesskühlraum bietet hoher Stabilität cryogen-freie Operation von an <10 K="" to="" 350="" K="">
  • WahlweiseTemperaturspanne von 20 K bis 675 K
  • Fühler werden thermisch an der Beispielstufe verankert, die zu abgekühlt wird <25 K="" at="" base="" temperature="">
  • Fühlerwaffenfühler wird für das Überwachen von Fühlertemperatur zur Verfügung gestellt
  • Steuerstabilität bis 20 M
  • Beispielaustausch-Schleifenzeit von 4 h
  • Hat ein niedriges Schwingungsauslegung weniger µm als 2 in Beispielstadium
  • Maße von GLEICHSTROM zu 67 Gigahertz
  • Prüfen Sie die Halterungen, die für die lärmarmen, Hochfrequenz- oder hochohmigen Maße optimiert werden
  • Passt Durchmesserwafers bis 51 mm (2 herein) an
  • Konfigurierbar mit bis sechs thermisch verankertem mikro-manipuliertem Fühler armiert
  • Prüfen Sie Waffen mit 3 Schwerpunktseinstellungen und ±5°-planarization

Last Update: 4. September 2012 04:43

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