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적당한, 다목적 cryogen 자유로운 탐사기 역 - 호수 해안 모형 CRX-6.5K

모형 CRX-6.5K는 직경에서 가득 차있는 장치의 비파괴적인 테스트에 위에 사용된 cryogen 자유로운, 저가, 마이크로 조작한 탐사기 역 및 부분적인 웨이퍼 51까지 mm (2 안으로)입니다. CRX-6.5K 플래트홈은 물자와 시험 장치의 전기 광학, 전기, 매개 변수, 높은 Z, DC, RF 및 마이크로파 속성을 측정하기 위하여 사용됩니다. Quantum 철사 및 점, nanoscale 전자공학 및 반도체는 CRX-6.5K에서 측정된 전형적인 물자입니다. 케이블, 탐사기, 견본 홀더, 도움의 다양한 종류는 특정 측정 응용을 만족시키기 위하여 CRX-6.5K를 구성합니다.

CRX-6.5K는 Sumitomo 6.5 K 기준 온도 CCR에 근거를 두고, 350 K에 액체 cryogens의 경영비 없이 온도 편차에 능률적인 온도 작동 그리고 통제를의 10 이하 K 제안합니다. 20K에 675K의 온도 편차는 선택적인 호환성이 있는 고열 견본 단계에 의해 제안됩니다. radiationn 방패 단계 및 견본은 둘 다 센서 및 히이터로 견본 교환을 위한 단단 열 반응 그리고 급속한 워밍업을 가능하게 하기 위하여 제공됩니다. 그 액티브하게 냉각한 보호는 견본을 도달하고기 견본 단계에 의해 냉각될 탐사기가 작은 열 기온변화도를 지킬 전에 흑체 방사선을 차단합니다.

CRX-6.5K는 장치 특징에 탐사기 끝을 정확하게 도착하는 6개까지 매우 안정되어 있는 마이크로 조작한 탐사기 무기로 구성된 사용자, 각 가능하게 하는 정확한 3 측 탐사기 위치 통제 입니다. 각 탐사기의 교체는 견본을 제대로 맞추어집니다 (planarized) 다중 끝 탐사기를 지키는 그것의 축선에 관하여 행해진 ±5°일 수 있습니다. DC 측정은 저잡음, 높 임피던스 (낮은 누설), 또는 시험 상황에서 장치에 높 열 접촉을 위해 낙관될 수 있습니다 (DUT). RF 측정은 67 GHz까지 윤곽을 포함합니다. 광학적인 근원의 소개는 보임창 Windows 또는 선택적인 광섬유 탐사기 무기 수정을 통해 행해집니다. 규모와 물자의 범위에 있는 소유 탐사기 무기는 열 질량을 감소시키고 DUT에 전기적 접점을 낙관합니다. 게다가, 탐사기 끝은 견본 단계에 열로 DUT에 열전달을 극소화하기 위하여 연결됩니다.

주요 특징

모형 CRX-6.5K 탐사기 역의 주요 특징은:

  • 닫히는 주기 냉장고는 높은 안정성에게 cryogen 자유로운 작동을에서 제안합니다 <10 K="" to="" 350="" K="">
  • 20 K에서 675 K에 선택적인 온도 편차
  • 탐사기는에 냉각된 견본 단계에 열로 정박됩니다 <25 K="" at="" base="" temperature="">
  • 탐사기 무기 센서는 탐사기 온도 감시를 제공됩니다
  • 20 mK에 통제 안정성
  • 4 h의 견본 교환 주기 시간
  • 견본 단계에서 낮은 진동 디자인 2 미만 µm가 있습니다
  • DC에서 67 GHz에 측정
  • 저잡음, 고주파, 높은 임피던스 측정을 위해 낙관된 홀더를 간색하십시오
  • 51까지 mm (2 안으로) 직경 웨이퍼를 수용합니다
  • 6개까지 열로 정박한 마이크로 조작한 탐사기에 설정 가능한 무장합니다
  • 3 측 조정 및 ±5° planarization를 가진 무기를 시험하십시오

Last Update: 4. September 2012 04:43

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