OSM-Z-100B の Queensgate の器械からの客観的なスキャンのメカニズム

Queensgate で Queensgate によって最新の二重センサー技術が顕微鏡の客観的な集中の優秀な原動力そして正確さを達成するのに使用されています。 副ナノメーターの位置は 4ms の下のの打ち破られたことがないステップそして演算時間の 100 µm の総変位上の OSM によって提供されます。

無接触位置測定システム、会社の NanoSensors はナノメーターのレベルで優秀な解像度、整合性および安定性を提供します。 低い以外軸線のエラー、また非常に高い剛さはこの洗練されたデザインのパフォーマンスを改善します。 複数のデジタルおよびアナログ制御装置は特許を取られた二重センサー技術をサポートする最も新しい NPC-A-1110DS のアナログ制御装置を含む OSM-Z-100B を運転するために提供されます。

主要特点

OSM-Z-100B の顕著な機能は次のとおりです:

  • システムは業界標準の速く 3 倍です
    • 4ms 小さいステップおよび長いすおよび 100µm の閉じたループの変位よりより少しを含んでいます
    • 600Hz 共鳴頻度
    • 20N/µm の剛さ
  • 装備されている二重センサー技術
    • 異なるロードの間の再口径測定無し
    • 優秀な機械帯域幅
  • パフォーマンスを置く有名な Queensgate NanoSensors
    • 0.1 nm の位置の騒音
    • 0.01% の直線性
    • 0.005% 残りヒステリシス
  • ツールなしの土台アダプター
  • より高い焦点の安定性のための極度のアンバーの構築

Last Update: 5. September 2012 04:34

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