Diseñado como plataforma completo modular, el EVG150 permite el aerosol automatizado/la barrena/desarrolla processess y alto-thoroughput funcionamiento. El EVG150 produce las cubiertas altamente uniformes y mejora repetibilidad para adaptarse a estas necesidades. Los Fulminantes con alta topografía se pueden recubrir uniformemente por la tecnología de OmniSpray® de EVG, donde la capa tradicional de la barrena encuentra limitaciones.
Características
- OmniSpray® (x/y o capa de aerosol rotatoria)
- Módulos del Cono De La Hélice para recubrir (barrena) o convertirse
- Cueza los módulos
- Vacie En Coquilla los módulos
- sistema de poco costo para la producción optimizada
- Fulminante campo-probado Sofisticado que manipula por el robot
- Sistema modificado para requisitos particulares para la mejor ventaja, incluyendo los útiles (mandriles), la manipulación (efector final del robot, pre-alineador) y módulos
- Opciones
- La capa del ® de OmniSpray para la capa optimizada de alta topografía alisa
- De temperatura controlada resista y las líneas del revelador
- Cueza los módulos para el °C hasta 350
- Vaporice la prima
- Fulminantes de la Manipulación de los densamente, arqueados o de diámetro bajo
- Manipulación de substratos ultrafinos y frágiles
- Módulos de Entrada-salida de SMIF (para 150 + 200 milímetros)
- Accesos de la carga de FOUP (para 200 + 300 milímetros)