Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

EVG150 Automatisés Résistent au Système de Traitement du Groupe d'EV

Conçu comme plate-forme entièrement modulaire, l'EVG150 permet le pulvérisateur robotisé/rotation/développe des processess et la performance de haut-thoroughput. L'EVG150 produit les couches hautement uniformes et améliore la répétabilité pour adapter à ces besoins. Des Disques avec la topographie élevée peuvent être uniformément vêtus par la technologie d'OmniSpray® d'EVG, où la couche traditionnelle de rotation rencontre des limitations.

Caractéristiques techniques

  • OmniSpray® (x/y ou couche de pulvérisateur rotationnelle)
  • Modules de Fileur pour vêtir (rotation) ou se développer
  • Faites les modules cuire au four
  • Refroidissez les modules
  • système rentable pour la production optimisée
  • Disque rodé en clientèle Sophistiqué traitant par le robot
  • Système personnalisé pour le meilleur avantage, y compris l'outillage (mandrins), traiter (terminal de robot, pré-dispositif d'alignement) et les modules
  • Options
    • La couche de ® d'OmniSpray pour la couche optimisée de topographie élevée apprête
    • À température contrôlée résistez et des lignes de révélateur
    • Faites les modules cuire au four pour le °C jusqu'à 350
    • Vaporisez la perfection
    • Des disques de Manipulation profondément, cintrés ou de faible diamètre
    • Manipulation des substrats ultra-minces et fragiles
    • Modules d'Entrée sortie de SMIF (150 + 200 millimètres)
    • Ports de charge de FOUP (200 + 300 millimètres)

Last Update: 30. October 2012 13:24

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment