十分にモジュラープラットホームとして設計されていて、 EVG150 は自動化されたスプレー/回転を可能にしましたり/processess および高thoroughput パフォーマンスを開発します。 EVG150 は非常に均一コートを作り出し、これらの必要性に適するために反復性を改善します。 高い地形を用いるウエファーは従来の回転のコーティングが限定に出会う EVG の OmniSpray® の技術によって均一に塗ることができます。
機能
- OmniSpray® (x/y か回転吹き付け塗装)
- (回転) コーティングまたは成長のための紡績工のモジュール
- モジュールを焼いて下さい
- モジュールを冷やして下さい
- 最適化された生産のための費用有効システム
- ロボットによって扱う洗練された実証済みのウエファー
- 工具細工 (チャック)、 (ロボット endeffector、前アライナ) 処理およびモジュールを含む最もよい利点のために、カスタマイズされるシステム
- オプション
- 高い地形の最適化されたコーティングのための OmniSpray の ® のコーティングは浮上します
- 温度調整された及び開発者ライン抵抗して下さい
- 350 まで °C のためのモジュールを焼いて下さい
- プライム記号を蒸発させて下さい
- 厚くか、曲げられるか、または小さい直径のウエファーの処理の
- 極めて薄く、壊れやすい基板の処理
- SMIF の入出力モジュール (150 + 200 の mm のために)
- FOUP ロードポート (200 + 300 の mm のために)