Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

自動化される EVG150 は EV のグループからの処理システムに抵抗します

十分にモジュラープラットホームとして設計されていて、 EVG150 は自動化されたスプレー/回転を可能にしましたり/processess および高thoroughput パフォーマンスを開発します。 EVG150 は非常に均一コートを作り出し、これらの必要性に適するために反復性を改善します。 高い地形を用いるウエファーは従来の回転のコーティングが限定に出会う EVG の OmniSpray® の技術によって均一に塗ることができます。

機能

  • OmniSpray® (x/y か回転吹き付け塗装)
  • (回転) コーティングまたは成長のための紡績工のモジュール
  • モジュールを焼いて下さい
  • モジュールを冷やして下さい
  • 最適化された生産のための費用有効システム
  • ロボットによって扱う洗練された実証済みのウエファー
  • 工具細工 (チャック)、 (ロボット endeffector、前アライナ) 処理およびモジュールを含む最もよい利点のために、カスタマイズされるシステム
  • オプション
    • 高い地形の最適化されたコーティングのための OmniSpray の ® のコーティングは浮上します
    • 温度調整された及び開発者ライン抵抗して下さい
    • 350 まで °C のためのモジュールを焼いて下さい
    • プライム記号を蒸発させて下さい
    • 厚くか、曲げられるか、または小さい直径のウエファーの処理の
    • 極めて薄く、壊れやすい基板の処理
    • SMIF の入出力モジュール (150 + 200 の mm のために)
    • FOUP ロードポート (200 + 300 の mm のために)

Last Update: 30. October 2012 13:25

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment