Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

EVG150 Geautomatiseerd Verzet me tegen het Systeem van de Verwerking van Groep EV

Ontworpen als volledig modulair platform, staat toe EVG150 de geautomatiseerde nevel/de rotatie/zich processess en hoog-thoroughput-hoogteprestaties ontwikkelt. EVG150 produceert hoogst eenvormige lagen en verbetert herhaalbaarheid om deze behoeften aan te passen. De Wafeltjes met hoge topografie kunnen uniform door de technologie OmniSpray® van EVG worden met een laag bedekt, waar de traditionele rotatiedeklaag beperkingen ontmoet.

Eigenschappen

  • OmniSpray® (x/y of rotatieneveldeklaag)
  • De modules van de Spinner voor zich het met een laag bedekken (rotatie) of het ontwikkelen
  • Bak modules
  • Koel modules
  • rendabel systeem voor geoptimaliseerde productie
  • Verfijnde gebied-bewezen wafeltje behandeling door robot
  • Het Systeem paste voor beste voordeel, met inbegrip van het bewerken (klemmen), behandeling (robotendeffector, pre-aligner) en modules aan
  • Opties
    • De deklaag van OmniSpray ® voor geoptimaliseerde deklaag van hoge topografieoppervlakten
    • Gecontroleerde de Temperatuur verzetten tegenzich & de ontwikkelaarlijnen
    • Bak modules voor maximaal 350 °C
    • Eerste Damp
    • Behandeling van dikke, gebogen of kleine diameterwafeltjes
    • Behandeling van uiterst dunne en breekbare substraten
    • Input-output modules SMIF (voor 150 + 200 mm)
    • FOUP ladingshavens (voor 200 + 300 mm)

Last Update: 30. October 2012 13:24

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment