Ontworpen als volledig modulair platform, staat toe EVG150 de geautomatiseerde nevel/de rotatie/zich processess en hoog-thoroughput-hoogteprestaties ontwikkelt. EVG150 produceert hoogst eenvormige lagen en verbetert herhaalbaarheid om deze behoeften aan te passen. De Wafeltjes met hoge topografie kunnen uniform door de technologie OmniSpray® van EVG worden met een laag bedekt, waar de traditionele rotatiedeklaag beperkingen ontmoet.
Eigenschappen
- OmniSpray® (x/y of rotatieneveldeklaag)
- De modules van de Spinner voor zich het met een laag bedekken (rotatie) of het ontwikkelen
- Bak modules
- Koel modules
- rendabel systeem voor geoptimaliseerde productie
- Verfijnde gebied-bewezen wafeltje behandeling door robot
- Het Systeem paste voor beste voordeel, met inbegrip van het bewerken (klemmen), behandeling (robotendeffector, pre-aligner) en modules aan
- Opties
- De deklaag van OmniSpray ® voor geoptimaliseerde deklaag van hoge topografieoppervlakten
- Gecontroleerde de Temperatuur verzetten tegenzich & de ontwikkelaarlijnen
- Bak modules voor maximaal 350 °C
- Eerste Damp
- Behandeling van dikke, gebogen of kleine diameterwafeltjes
- Behandeling van uiterst dunne en breekbare substraten
- Input-output modules SMIF (voor 150 + 200 mm)
- FOUP ladingshavens (voor 200 + 300 mm)