Projetado como uma plataforma inteiramente modular, o EVG150 permite o pulverizador automatizado/rotação/desenvolve processess e o desempenho alto-thoroughput. O EVG150 produz revestimentos altamente uniformes e melhora a repetibilidade para serir estas necessidades. As Bolachas com topografia alta podem uniformemente ser revestidas pela tecnologia do OmniSpray® de EVG, onde o revestimento tradicional da rotação encontra limitações.
Características
- OmniSpray® (x/y ou revestimento de pulverizador rotatório)
- Módulos do Girador para revestir (rotação) ou tornar-se
- Coza os módulos
- Refrigere os módulos
- sistema eficaz na redução de custos para a produção aperfeiçoada
- Bolacha campo-provada Sofisticada que segura pelo robô
- Sistema personalizado para o melhor benefício, incluindo o trabalho feito com ferramentas (mandris), a manipulação (terminal do robô, pre-alinhador) e os módulos
- Opções
- O revestimento do ® de OmniSpray para o revestimento aperfeiçoado da topografia alta surge
- A Temperatura controlada resistem & as linhas do revelador
- Coza os módulos para o °C até 350
- Vaporize a prima
- Bolachas curvadas ou de pequeno diâmetro da Manipulação de densamente,
- Manipulação de carcaças ultrathin e frágeis
- Módulos de Entrada/saída de SMIF (para 150 + 200 milímetros)
- Portas da carga de FOUP (para 200 + 300 milímetros)