Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

EVG150 Automatizados Resistem o Sistema de Processamento do Grupo de EV

Projetado como uma plataforma inteiramente modular, o EVG150 permite o pulverizador automatizado/rotação/desenvolve processess e o desempenho alto-thoroughput. O EVG150 produz revestimentos altamente uniformes e melhora a repetibilidade para serir estas necessidades. As Bolachas com topografia alta podem uniformemente ser revestidas pela tecnologia do OmniSpray® de EVG, onde o revestimento tradicional da rotação encontra limitações.

Características

  • OmniSpray® (x/y ou revestimento de pulverizador rotatório)
  • Módulos do Girador para revestir (rotação) ou tornar-se
  • Coza os módulos
  • Refrigere os módulos
  • sistema eficaz na redução de custos para a produção aperfeiçoada
  • Bolacha campo-provada Sofisticada que segura pelo robô
  • Sistema personalizado para o melhor benefício, incluindo o trabalho feito com ferramentas (mandris), a manipulação (terminal do robô, pre-alinhador) e os módulos
  • Opções
    • O revestimento do ® de OmniSpray para o revestimento aperfeiçoado da topografia alta surge
    • A Temperatura controlada resistem & as linhas do revelador
    • Coza os módulos para o °C até 350
    • Vaporize a prima
    • Bolachas curvadas ou de pequeno diâmetro da Manipulação de densamente,
    • Manipulação de carcaças ultrathin e frágeis
    • Módulos de Entrada/saída de SMIF (para 150 + 200 milímetros)
    • Portas da carga de FOUP (para 200 + 300 milímetros)

Last Update: 30. October 2012 13:25

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment