Конструировано как польностью модульная платформа, EVG150 позволяет автоматизированному брызгу/закрутке/начинает processess и высокое-thoroughput представление. EVG150 производит сильно равномерные пальто и улучшает повторимость для того чтобы одеть эти потребности. Вафли с высокой топографией могут равномерно быть покрыны технологией OmniSpray® EVG, где традиционное покрытие закрутки сталкивается ограничения.
Характеристики
- OmniSpray® (x/y или вращательное покрытие брызга)
- Модули Обтекателя Втулки для покрывать (закрутка) или превращаться
- Испеките модули
- Охладьте модули
- рентабельная система для оптимизированной продукции
- Изощренная пол-доказанная вафля регулируя роботом
- Система подгонянная для самого лучшего преимущества, включая tooling (цыплеят), регулировать (endeffector робота, pre-aligner) и модули
- Варианты
- Покрытие ® OmniSpray для оптимизированного покрытия высокой топографии отделывает поверхность
- Проконтролированная Температура сопротивляют & линии проявителя
- Испеките модули для °C до 350
- Испарите главный
- Вафель толщиной, обхватыванного или малого диаметра Регулировать
- Регулировать ультратонких и утлых субстратов
- Модули Вход-выхода SMIF (для 150 + 200 mm)
- Порты нагрузки FOUP (для 200 + 300 mm)