Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Автоматизированные EVG150 Сопротивляют Системе Обработки от Группы EV

Конструировано как польностью модульная платформа, EVG150 позволяет автоматизированному брызгу/закрутке/начинает processess и высокое-thoroughput представление. EVG150 производит сильно равномерные пальто и улучшает повторимость для того чтобы одеть эти потребности. Вафли с высокой топографией могут равномерно быть покрыны технологией OmniSpray® EVG, где традиционное покрытие закрутки сталкивается ограничения.

Характеристики

  • OmniSpray® (x/y или вращательное покрытие брызга)
  • Модули Обтекателя Втулки для покрывать (закрутка) или превращаться
  • Испеките модули
  • Охладьте модули
  • рентабельная система для оптимизированной продукции
  • Изощренная пол-доказанная вафля регулируя роботом
  • Система подгонянная для самого лучшего преимущества, включая tooling (цыплеят), регулировать (endeffector робота, pre-aligner) и модули
  • Варианты
    • Покрытие ® OmniSpray для оптимизированного покрытия высокой топографии отделывает поверхность
    • Проконтролированная Температура сопротивляют & линии проявителя
    • Испеките модули для °C до 350
    • Испарите главный
    • Вафель толщиной, обхватыванного или малого диаметра Регулировать
    • Регулировать ультратонких и утлых субстратов
    • Модули Вход-выхода SMIF (для 150 + 200 mm)
    • Порты нагрузки FOUP (для 200 + 300 mm)

Last Update: 30. October 2012 13:25

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment