Nano HS 시리즈는 고속, 다중 축선, 해결책을 두는 picometer를 가진 정밀도 nanopositioning 시스템입니다. 제안 최대 다양성은, Nano HS XY 또는 XYZ 움직임을 제공하기 위하여 구성될 수 있습니다. PicoQ 소유 기술을 이용하는 내부 위치 센서는 닫힌 고리 제어의 밑에 절대, 반복 가능 위치 측정을 제공합니다. 5kHz의 조밀한 발자국, 매우 낮은 소음 특성 및 Z 축선 공명 주파수는 그것에게 소음 지면을 10대의 이하 picometers 및 또는 고속 성과 요구하는 도량형학 응용을 위한 이상을 만듭니다.
특징
- 고속, 다중 축선
- XY와 XYZ 윤곽
- 아래로 Z 축선 단계 응답 시간 2ms에
- Z 축선은 300까지 Hz를 검사합니다
- 닫힌 고리 제어
- 해결책을 두는 Picometer
전형적인 응용
- 고속, 고해상에게 두기
- 도량형학
- AFM
- SPM