De Reeks nano-HS is een hoge snelheid, multi-axis, precisie nanopositioning systeem met picometer het plaatsen resolutie. Aanbiedend maximumveelzijdigheid, kan nano-HS worden gevormd om de X-Y of motie van XYZ te verstrekken. De Interne positiesensoren die merkgebonden technologie PicoQ gebruiken verstrekken absolute, herhaalbare positiemeting onder gesloten lijncontrole. De compacte voetafdruk, ultra-low lawaaikenmerken, en een z-As resonerende frequentie van 5kHz maken het voor metrologietoepassingen ideaal die lawaaivloeren minder dan 10 picometers en/of hoge snelheidsprestaties vereisen.
Eigenschappen
- Multi-axis Hoge snelheid,
- De X-Y en configuraties van XYZ
- Van de z-As de tijd stapreactie neer aan 2ms
- De z-As tast tot 300 Herz af
- Gesloten lijncontrole
- Het plaatsen van Picometer resolutie
Typische Toepassingen
- Hoge snelheid, hoge resolutie het plaatsen
- Metrologie
- AFM
- SPM