Nano-HS serien er en høy hastighet, multi-aksen, presisjon nanopositioning system med picometer posisjonering oppløsning. Tilbyr maksimal allsidighet, kan den Nano-HS være konfigurert til å gi XY eller XYZ bevegelse. Intern posisjonssensorer benytte proprietære PicoQ teknologi gir absolutt, repeterbare posisjon måling under lukket sløyfe kontroll. Den kompakte fotavtrykk, ultra-lav støy egenskaper, og en Z-akse resonansfrekvensen av 5kHz gjør det ideelt for metrologi applikasjoner som krever støy gulv mindre enn 10 picometers og / eller høy hastighet ytelse.
Funksjoner
- Høy hastighet, multi-aksen
- XY og XYZ konfigurasjoner
- Z-aksen steg responstid ned til 2 ms
- Z-aksen skanner opptil 300 Hz
- Lukket sløyfe kontroll
- Picometer posisjonering oppløsning
Typiske bruksområder
- Høy hastighet, høy oppløsning posisjonering
- Justervesenet
- AFM
- SPM