A Série Nano-HS está a uma alta velocidade, multi-linha central, sistema nanopositioning da precisão com o picometer que posiciona a definição. A versatilidade máxima de Oferecimento, o Nano-HS pode ser configurada para fornecer o movimento XY ou do XYZ. Os sensores de posição Internos que utilizam a tecnologia proprietária de PicoQ fornecem a medida absoluta, repetível da posição sob o controle de laço fechado. A pegada compacta, as ultra-baixas características do ruído, e uma freqüência ressonante da Z-Linha Central de 5kHz fazem-lhe o ideal para as aplicações da metrologia que exigem assoalhos do ruído menos de 10 picometers e/ou desempenho de alta velocidade.
Características
- Alta velocidade, multi-linha central
- Configurações XY e do XYZ
- tempo de resposta da etapa da Z-Linha Central para baixo a 2ms
- a Z-Linha Central faz a varredura de até 300 Hertz
- Controle de laço Fechado
- Picometer que posiciona a definição
Aplicações Típicas
- Alta velocidade, posicionamento de alta resolução
- Metrologia
- AFM
- SPM