Серия Nano-HS быстрый ход, multi-ось, система точности nanopositioning при picometer располагая разрешение. Предлагая максимальную многосторонность, Nano-HS можно установить для того чтобы обеспечить движение XY или XYZ. Внутренние датчики положения используя собственническую технологию PicoQ предусматривают абсолютное, repeatable измерение положения под управлением короткозамкнутого витка. Компактный след ноги, ультра-низкие характеристики помех, и частота Z-Оси резонирующая 5kHz делают им идеал для применений метрологии которые требуют полов шума более менее чем 10 picometers и/или высокоскоростного представление.
Характеристики
- Быстрый ход, multi-ось
- Конфигурации XY и XYZ
- время на ответ шага Z-Оси вниз к 2ms
- Z-Ось просматривает до 300 Hz
- Управление Короткозамкнутого витка
- Picometer располагая разрешение
Типичные Применения
- Быстрый ход, высокий располагать разрешения
- Метрология
- AFM
- SPM