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Träger-Anlage FEI V600CE Fokussierte (FIB) Ionen

Die Familie V600 enthält das effizientste, flexibel, und kosteneffektive Schaltung bearbeiten die Hilfsmittel, die für Halbleiterlabors erhältlich sind. Sie aktivieren schnelle, vielseitige Modifikation und Analyse mit einem Einspalten-, fokussierten Ionenträger, (FIB) der effektiv hohe Durchsatzschaltungsmodifikation, -einteilung und -Fehleranalyse entbindet. Die Familie V600 enthält Kleinteile und die Software-Extensionen, zum der hoch entwickelten Schaltung zu adressieren bearbeiten Anforderungen unter 65 nm und entbinden die kosteneffektivsten Lösungen für die unmittelbaren und zukünftigen Anforderungen.

Vorteile und Fähigkeiten

Höchstentwickelte 30 KV FEIS Kennzeichnend, 5 nm ist Sidewinder-Ionenspalte, jedes Bauteil der Familie V600 zur hochauflösenden Darstellung Oberst fähig und mahlt und Schnellzugriff zu den unter der Oberfläche liegenden Merkmalen auf einer breiten Reichweite der Materialien. Mittel-Spalte Steuerung für Schwachstromoperationen setzt Schaden in TEM-Probe Lamellen herab, während hoch-aktuelle Operation schnellen materiellen Ausbau und erhöhten Beispieldurchsatz sicherstellt.

Das neue V600CE kennzeichnet das NanoChemix-Gasliefersystem, um hochentwickelteres zu entbinden bearbeiten Fähigkeit. Es ist das vielseitigste Gasliefersystem auf dem Markt und aktiviert den FLUNKEREI-Operator, variablen Druck einer großen Vielfalt der Gase für konkurrenzloses prozesskontrolliertes und Optimierung anzuwenden. Die Fähigkeit, Gase durch die Doppel-, gegenüberliegenden Düsen zu mischen stellt dielektrisches Absetzungsmaterial der besseren Qualität für das Isolieren von kritischen Bereichen eines Bearbeitung zur Verfügung. Die Doppeldüse basierte Lieferung ist auch für Wartungsboden Einheitlichkeit oder planarity beim Zugriff von niedrigeren Metallschichten einer Einheit unschätzbar. Die Gas-Liefersystemstützlieferung FEI NanoChemix dieser fünf Gase für hochentwickelteres bearbeiten Fähigkeit:

  • XeF2 - Ätzung für Dielektrisches (SiO2) und niedrig--K
  • H2O (O2) - Ätzung für organische Produkte und kupfernen Ausschnitt
  • Cl2 - Ätzung für Aluminium und Silikon
  • TMCTS - Isolator Absetzung (SiO2) mit O2
  • Wolfram Hexacarbonyl - WolframAbsetzung

Das V600CE umfaßt hoch entwickelte Software, die die Schaltung verbessert, die Präzision bearbeitet und Regelung auf Zunahmeschaltung Ende-zeigend, Erfolgskinetik bearbeiten Sie.

Dehnen Sie die Fähigkeiten des V600CE mit dem IR-Mikroskop und Massendem sirigolenpaket aus. Ein nahes Infrarotmikroskop ermöglicht Darstellung von Zielzellen durch Vorderseitenichtleiter und Rückseitenmassensilikon für schnelle, genaue Navigation. Die Massensilikonrigolenkleinteile enthalten eine spezielle Koaxialgaslieferungsdüse, die Massensilikonradierung für Schnellzugriffs zum Schaltkreis von der Rückseite beschleunigt.

Anwendungen

V600CE ist ausgezeichnetes Ausführendes für die folgenden Anwendungen:

  • HALBLEITER UND DATEN-SPEICHER
    • Schaltung Bearbeiten
    • Fehleranalyse
    • Defekt Analyse
    • Metrologie 3D
  • FORSCHUNG
    • Materialien und Probenaufbereitung
    • Nanoprototyping

Last Update: 23. April 2013 01:10

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