Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Technical Sales Solutions - 5% off any SEM, TEM, FIB or Dual Beam
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

FEI V600CE에 의하여 집중되는 이온살 (FIB) 시스템

V600 가족은 능률, 유연한 구성하고 있고, 비용 효과적인 회로는 반도체 실험실을 위해 유효한 공구를 편집합니다. 그(것)들은 단 하나 란을 가진 단단, 다재다능한 수정 그리고 분석, 효과적으로 높은 처리량 (FIB) 회로 수정, 십자가 구분, 및 실패 분석을 전달하는 집중된 이온살을 가능하게 합니다. V600 가족은 기계설비를 포함하고 향상된 회로를 제시하는 소프트웨어 연장은 비용 효과적인 해결책을 전달하는 65 nm 이하 즉시와 미래 필수품을 위한 필수품을 편집합니다.

이점과 기능

FEI의 가장 진보된 kV 30, 5 nm Sidewinder 이온 란은 특색지어서, V600 가족의 각 일원 고해상도 화상 진찰 도 최고로 할 수 있고, 물자의 넓은 범위에 지하 특징에 순간 접근 맷돌로 가. 낮 전압 작동을 위한 중앙 란 조타는 높 현재 작동이 급속한 물자 제거 및 증가시키는 견본 처리량을 지키는 동안 TEM 견본 얇은 판자에 있는 손상을 극소화합니다.

새로운 V600CE는 NanoChemix 가스 더 향상된 투발하기 위하여 전달계를 편집합니다 기능을 특색짓습니다. 시장에 가장 다재다능한 가스 전달계이어, 경쟁자가 없는 순서 관리 및 최적화를 위한 다양한 가스의 변하기 쉬운 압력을 가하는 거짓말 통신수를 가능하게 하. 이중, 반대 분사구를 통해서 가스를 혼합하는 기능은 편집의 기각 영역 격리를 우수 품질 절연성 공술서 물자를 제공합니다. 이중 분사구에 기지를 둔 납품은 또한 장치의 더 낮은 금속 층에 접근하고 있는 동안 유지 지면 균등성 또는 planarity를 위해 값을 헤아릴 수 없습니다. 더 향상된을 위한 이 5개의 가스의 FEI NanoChemix 가스 전달계 지원 납품은 기능을 편집합니다:

  • XeF2 - 유전체 (SiO2)를 위한 식각과 낮은 k
  • H2O (O2) - 유기물과 구리 절단을 위한 식각
  • Cl2 - 알루미늄과 실리콘을 위한 식각
  • TMCTS - O2를 가진 절연체 공술서 (SiO2)
  • 텅스텐 Hexacarbonyl - 텅스텐 공술서

V600CE는 정밀도를 편집하는 회로를 향상하고 통제를 증가 회로를 최후 조준해서 성공율을 편집하십시오 향상된 소프트웨어를 포함합니다.

IR 현미경 및 대량 Si trenching 포장을 가진 V600CE의 기능을 확장하십시오. 가까운 적외선 현미경은 단단, 정확한 항법을 위한 정면 유전체 그리고 후부 대량 실리콘을 통해서 표적 구조의 화상 진찰을 허용합니다. 대량 실리콘 trenching 기계설비는 후부에서 회로에 고속 접근을 위한 대량 실리콘 에칭을 가속하는 특별한 동축 가스 납품 분사구를 포함합니다.

응용

V600CE는 뒤에 오는 응용을 위한 우수한 연예인입니다:

  • 반도체와 자료 기억 장치
    • 회로는 편집합니다
    • 실패 분석
    • 결점 분석
    • 3D 도량형학
  • 연구
    • 물자와 견본 준비
    • Nanoprototyping

Last Update: 23. April 2013 01:10

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment