FEI V600CE Concentreerde het Systeem van de (FIB) Ionenstraal

De V600 Familie bestaat uit het meest efficiënt, flexibel, en de rendabele kring geeft hulpmiddelen beschikbaar voor halfgeleiderlaboratoria uit. Zij laten snel toe, veelzijdige wijziging en analyse met een enig-kolom, geconcentreerde ionenstraal (FIB) die effectief de hoge wijziging van de productiekring, dwars-segmenteert, en mislukkingsanalyse levert. De V600 Familie omvat hardware en de softwareuitbreidingen om geavanceerde kring te richten geven vereisten onder 65 NM uit, leverend de rendabelste oplossingen voor onmiddellijke en toekomstige behoeften.

Voordelen en Mogelijkheden

Kenmerkend FEI het meest geavanceerd 30 kV, 5 NMSidewinder is de ionenkolom, elk lid van de V600 Familie supremely geschikt voor high-resolution weergave, malen, en snelle toegang tot subsurface eigenschappen op een brede waaier van materialen. De leiding van de medio-Kolom voor zwakstroomverrichtingen minimaliseert schade in TEM-Steekproef lamellen terwijl high-current verrichting snelle materiële verwijdering en verhoogde steekproefproductie verzekert.

Nieuwe V600CE kenmerkt het NanoChemix te leveren systeem van de gaslevering geavanceerder uitgeeft vermogen. Het is het meest veelzijdige systeem van de gaslevering op de markt, die de FIB exploitant toelaat om veranderlijke druk van een grote verscheidenheid van gassen ongeëvenaarde procesbeheersing en optimalisering aan te vragen. De capaciteit om gassen door dubbele, het verzetten zich pijpen te mengen verstrekt superieure kwaliteit het diëlektrische depositomateriaal voor het isoleren van kritieke gebieden van uitgeeft. De dubbele pijp gebaseerde levering is ook onschatbaar voor het handhaven van vloeruniformiteit of planarity terwijl het toegang tot van lagere metaallagen van een apparaat. Het FEI NanoChemix systeem van de gaslevering steunt levering van deze vijf gassen want geavanceerder vermogen uitgeef:

  • XeF2 - Ets voor Diëlektrisch (SiO2) en laag-k
  • H2O (O2) - Ets voor natuurlijke producten en koperknipsel
  • Cl2 - Ets voor aluminium en silicium
  • TMCTS - het Deposito van de Isolatie (SiO2) met O2
  • Wolfram Hexacarbonyl - het Deposito van het Wolfram

V600CE omvat geavanceerde software die kring het uitgeven precisie verbetert en eind-richtend controle om kring te verhogen succestarieven uitgeef.

Breid de mogelijkheden van V600CE met de microscoop van IRL en het Bulk het omspittenpakket van Si uit. Een dichtbijgelegen infrarode microscoop laat weergave van doelstructuren door voor diëlektrische kant toe en achtereind bulksilicium voor snelle, nauwkeurige navigatie. De bulkhardware van het siliciumomspitten omvat een speciale coaxiale pijp van de gaslevering die bulksilicium ets voor snellere toegang tot schakelschema van het achtereind versnelt.

Toepassingen

V600CE is uitstekende uitvoerder voor de volgende toepassingen:

  • DE OPSLAG VAN DE HALFGELEIDER EN VAN GEGEVENS
    • De Kring Geeft uit
    • De Analyse van de Mislukking
    • De Analyse van het Tekort
    • 3D Metrologie
  • ONDERZOEK
    • Materialen en de Voorbereiding van de Steekproef
    • Nanoprototyping

Last Update: 23. April 2013 01:09

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment